Көміртекті көміртекті киізден жасалған киіз

Subicorex әйнекті көміртекті қапталған көміртекті қапталған киіз, кремний карбидіндегі ішкі оқшаулау қабаты ретінде әрекет етеді. Бұл дамыған жылу орталарына арналған жоғары өнімді оқшаулағыш материал. Бұл өнім өзінің жеңіл және тамаша термиялық оқшаулау қасиеттеріне байланысты жоғары температуралы өндірістік процестерді жоғары температуралы өткізгіштігін жеңедіграфит киіз, беттік тұтастықпен және химиялық инерттімділікпен, әйнек көміртекті жабыны бар.

Негізгі материал - бұл жоғары тазалықграфит киізТөменгі жылу өткізгіштікке жоғары температуралық өткізгіштігі жоғары температуралық тұрақтылық пен жеңіл салмақты таңдады. Қалыпты графит киіз, әдетте, температурада беттік талшықты төгіп, бөлшектердің пайда болуы және технологиялық ортаны сезімтал эпитаксиалды жүйелерде ластауы мүмкін. Бұл мәселені азайту үшін графит киіз беті біркелкі, бүйірлік көміртек қабатының қабаты бар, оның химиялық инерациясымен, газдың төменгі емес, ленталық емес көміртекті және ерекше жылу тұрақтылығымен қапталған.

Шыны көміртегі - бұл әйнек пен керамиканың қасиеттерін біріктіретін графикалық емес көміртек. Кристалды графиттен айырмашылығы, бұл 100% -ға жуық будандырылған көміртекті материал, ол фенолиялық шайыр, финикалық шайыр, фин алкогольдік препараттар мен т.б., инертті газ атмосферасында қалыптасады. Ол қара, сондықтан ол қара түсті және әйнекке ұқсас тегіс бетке ие, ол әйнек көміртегі деп аталады.

Шыныған көміртекті жабын пеш бөлшектерін шығарып, беткі тері тесігін кетіреді, жабық жер үсті тері тесігін, керемет қасиеттерін береді және өткізгіштігін азайтады, бұл материалды жартылай өткізгіш өнеркәсіпте тұрақты құюға арналған қалыптар мен өнімдерге өте ыңғайлы етеді. Бұл материал жартылай өткізгіш өнеркәсіпте, әсіресе графит бөліктерінде, әсіресе графит бөліктерінде, мысалы, графит бөліктерінде, мысалы, графикалық бөлшектер, мысалы, графикалық, мысалы, эпитаксиальды өсу компоненттері, үздіксіз құйылған қалыптар, шыны пломбалар және т.б.

Шыны көміртегі бүктелген көміртекті 3000 ° C-қа дейін, ал қана температурада 3000 ° C-қа дейін, бүйірлік көміртектің күші 2700 мыңға дейін жоғарылайды және ол сынғыш болып, ол жарқырамайды, сондықтан қысқа жылыту және салқындату уақыты қиындық тудырмайды. Сонымен қатар, әйнек көміртегі төмен массасы, баяу жылу сіңірілуі және аз жылу кеңеюі бар, сондықтан ол барлық жоғары температуралық қосымшаларға сәйкес келеді.

Шыныданың көміртекті жабыны графит киізден жасалған беттік тері тесігін герметизациялауда маңызды рөл атқарады, бұл жұмыс кезінде бөлшектер мен көміртегі шаңының шығарылуын едәуір азайтады. Бұл әсіресе SIC эпитаксиалды өсу процестерінде өте маңызды, мұнда минималды ластану вафлидің сапасы мен жұмысының орындалуына қол жеткізе алады. Киіздің кеуекті құрылымын тегістеу арқылы тегіс, қатты әйнек көміртекті қабықпен қапталған, жабын реакция камерасында таза және тұрақты жылу ортасын қамтамасыз етеді.

Шыны көміртекті жабынының негізгі артықшылықтары:

Бөлшектердің төгілуінің азаюы: тығыз жабын вафаланған талшықтар мен бөлшектерде, вафли мен реактор компоненттерінің ластануын болдырмайды.

Жоғары жылулық тұрақтылық: графит және әйнек көміртегі 2000 ° C-тан жоғары температурада немесе вакуумдық атмосферада температураға төтеп бере алады, бұл өнімді жоғары температуралы SIC процестеріне мінсіз етеді.

Химиялық инерстер: әйнек көміртегі беті көптеген қышқылдарға және коррозиялық газдарға төзімді, олар қатал жағдайда оқшауланған қабаттың операциялық өмірін ұзартады.

Технологиялық процесті жақсарту: бөлшектелген бөлшектердің өндірісі жоғары сапалы ӘЖК вафлиін өндіру үшін қажет, тұрақты және қайталанатын эпитаксилі ортақ ортаға ықпал етеді.

Тырары көміртекті жабынының қосымшалары ең алдымен Ыстық аймақта жылу оқшаулағыш қабаты ретінде пайдаланылатын SIC Epitaxial өсу пешіндерге таралады. Өнім әдетте термиялық қорғаныс және тазалықпен қамтамасыз етуді қамтамасыз ететін жоғарғы немесе төменгі оқшаулағыш дестелердегі төсем материалы ретінде орнатылады.