Балқытылған кварц тұғыры

Жартылай өткізгішті жасауда балқытылған кварц тұғыры пластиналарды ұстайтын кварц қайығының тірек құрылымы ретінде қызмет етеді. Тұрақты температураны сақтай отырып, ол жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен сенімділігі үшін маңызды фактор болып табылатын біркелкі жұқа пленка тұнбасына қол жеткізуге көмектеседі. Тұғыр технологиялық камера ішінде жылу мен жарықтың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді, осылайша тұндыру процесінің жалпы сапасын арттырады.

Балқытылған кварц материалының артықшылықтары

1. Жоғары температураға төзімділік

Балқытылған кварц тұғыры шамамен 1730°C жұмсарту нүктесіне ие, бұл оны 1100°C-ден 1250°C-қа дейінгі температурада ұзақ пайдалануға төтеп беруге мүмкіндік береді. Сонымен қатар, ол 1450 ° C-қа дейінгі температураның қысқа мерзімді әсеріне төзе алады.

2. Коррозияға төзімділік

Балқытылған кварц тұғыры фторлы қышқылды қоспағанда, көптеген қышқылдарға химиялық инертті. Оның қышқылға төзімділігі керамикадан 30 есе, тот баспайтын болаттан 150 есе асып түседі. Жоғары температурада басқа ешбір материал балқытылған кварцтың химиялық тұрақтылығына сәйкес келе алмайды, бұл оны қатаң химиялық орталар үшін тамаша таңдау жасайды.

3. Термиялық тұрақтылық

Балқытылған кварц тұғырының ерекше ерекшеліктерінің бірі - оның минималды термиялық кеңею коэффициенті. Бұл қасиет оның қатты температураның өзгеруіне крекингсіз төтеп беруге мүмкіндік береді. Мысалы, оны 1100°C-қа дейін жылдам қыздыруға болады, содан кейін залалсыз бөлме температурасында суға батыруға болады — бұл жоғары кернеулі өндірістік процестер үшін маңызды сипаттама.

Өндірістік процесс

Балқытылған кварц тұғырының өндіріс процесі ең жоғары сапа стандарттарын қамтамасыз ету үшін мұқият бақыланады. Тұғырлар 10 000 немесе одан жоғары сыныптағы таза бөлмелерде жүргізілетін термоформалау және дәнекерлеу процестері арқылы шығарылады. Өте таза сумен кейінгі тазалау (18 МΩ)одан әрі өнімнің тазалығы мен өнімділігін қамтамасыз етеді. Әрбір балқытылған кварц тұғыры жартылай өткізгішті өндірудің қатаң талаптарына сай болу үшін 1000 немесе одан жоғары класты таза бөлмеде мұқият тексеруден, тазалаудан және ораудан өтеді.

Жоғары тазалықтағы мөлдір емес кварц материалы

Жылу мен жарықты тиімді блоктау үшін балқытылған кварц тұғыры тазалығы жоғары мөлдір емес кварц материалын пайдаланады. Бұл материалдың бірегей қасиеттері тұғырдың технологиялық камерада тұрақты және біркелкі температураны ұстап тұру қабілетін жақсартады, осылайша пластиналардағы жұқа қабықшаның тұрақты сапасын қамтамасыз етеді.

Қолданбалардың кең ауқымы

Балқытылған кварц тұғырының ерекше қасиеттері оны жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі әртүрлі қолданбаларға қолайлы етеді. ALD процестерінде ол алдыңғы қатарлы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру үшін маңызды атомдық деңгейде жұқа қабықтың өсуін дәл бақылауды қолдайды. LPCVD процестері кезінде тұғырдың термиялық тұрақтылығы мен жарықты блоктау мүмкіндіктері пленканың біркелкі тұндырылуына, құрылғының өнімділігі мен өнімділігін арттыруға ықпал етеді.

Диффузия процестерінде балқытылған кварц тұғырының жоғары температураға төзімділігі мен химиялық инерттілігі жартылай өткізгіш материалдардың сенімді және дәйекті қоспалануын қамтамасыз етеді. Бұл процестер жартылай өткізгіш құрылғылардың электрлік қасиеттерін анықтау үшін өте маңызды, ал балқытылған кварц сияқты жоғары сапалы материалдарды пайдалану оңтайлы нәтижелерге қол жеткізу үшін өте маңызды.