ESC Чак

Semicorex ESC Chuck пластинаның орнын дәл бақылау үшін электростатикалық күштерді пайдаланады, жартылай өткізгіштерді өндіру орталарында жоғары дәлдік пен қайталануды қамтамасыз етеді. ESC патронының дизайны оның сенімді материалды таңдауымен және реттелетін өлшемдерімен үйлеседі, оны ою, тұндыру және ионды имплантациялау сияқты процестерде әмбебап және маңызды құрал етеді.

ESC патроны патронның электродтары мен пластинаның арасында жоғары вольтты электростатикалық өрісті қолдану арқылы жұмыс істейді, бұл пластинаны орнында ұстайтын тартымды күш жасайды. Әдетте кремнийден немесе кремний карбидінен жасалған вафли жоғары вакуумды ортада дәл жұмыс істеуге мүмкіндік беретін осы күшпен бекітіледі. Бұл жүйе ластаушы заттарды енгізетін немесе пластинаны бұрмалайтын механикалық қысқышты немесе вакуумды патронды қажет етпейді. ESC патронын пайдалану арқылы өндірушілер жоғары өнімділікке және тұрақты нәтижелерге әкелетін нәзік дайындау процестері үшін таза, тұрақты ортаны қамтамасыз ете алады.

ESC технологиясының негізгі артықшылықтарының бірі - оның пластинаны берік ұстау қабілеті, сонымен бірге оның бетіне күшті біркелкі таратады. Бұл пластинаның тегіс және тұрақты болып қалуын қамтамасыз етеді, бұл біркелкі ою немесе тұндыру үшін өте маңызды, әсіресе микрон асты дәлдік қажет процестерде. ESC патронының теңшелетін өлшемдері оған стандартты 200 мм және 300 мм пластинкалардан бастап зерттеулер мен әзірлемелерде немесе тауашалық жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде қолданылатын мамандандырылған, стандартты емес өлшемдерге дейін әртүрлі өлшемдегі вафлилерді орналастыруға мүмкіндік береді.

ESC патронының құрылысында пайдаланылатын материалдар әдетте жартылай өткізгішті өңдеуде кездесетін қатал орталармен үйлесімділікті қамтамасыз ету үшін мұқият таңдалады. Жоғары таза керамика алюминий тотығы тамаша электр оқшаулағыш қасиеттеріне, жылу тұрақтылығына және плазмалық коррозияға төзімділігіне байланысты қолданылады. Бұл қасиеттер патронға жоғары температурада да, жоғары вакуумда да тиімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді, таза бөлме жағдайында ұзақ мерзімді пайдалану үшін қажетті беріктік пен сенімділікті қамтамасыз етеді.

Баптау - ESC патрондарының тағы бір маңызды артықшылығы. Жартылай өткізгішті дайындау процесінің нақты талаптарына байланысты патрон өлшемдері, электрод конфигурациялары және материал құрамы өңделетін жабдық пен пластинаның ерекше қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін бейімделуі мүмкін. Қолданбаға плазмалық сызу, химиялық бу тұндыру (CVD) немесе физикалық бу тұндыру (PVD) қатысты болса да, ESC патронын өнімділікті оңтайландыру және өңдеу кезінде пластинаның тұтастығын сақтау үшін жасауға болады.