Электростатикалық патрон

Semicorex Electrostatic Chuck (ESC) — жартылай өткізгішті өндіруде қолданылатын жетілдірілген құрамдас, әртүрлі өңдеу кезеңдерінде жартылай өткізгіш пластиналарды қауіпсіз ұстауға арналған. Бәсекеге қабілетті бағамен жоғары сапалы өнімді жеткізу міндеттемесін ескере отырып, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуға дайынбыз.*

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жоғары таза глиноземді керамика арқылы Semicorex Electrostatic Chuck дәлдікті, тұрақтылықты және тазалықты бірінші орынға қоятын параметрлерде жоғары өнімділікті қамтамасыз етеді. Алюминий тотығы (Al2O3) деп те аталатын алюминий тотығы - ерекше электр оқшаулау қасиеттерімен, жоғары жылу өткізгіштігімен және керемет механикалық беріктігімен танымал керамикалық материал. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті өңдеудің күрделі шарттарына төтеп беруге арналған электростатикалық патронды салу үшін тамаша материал етеді. Алюминий тотығы керамикалық ESC пластинаны өңдеу және өңдеу кезінде жоғары температураға, коррозиялық орталарға және механикалық кернеулерге төтеп беру үшін жасалған, жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен сапасын қамтамасыз етуде маңызды рөл атқарады.

Электростатикалық патронның негізгі принципі пластинаны орнында сенімді ұстау үшін қолданылатын электростатикалық күш болып табылады. Бұл күш керамикалық материалға енгізілген электродтарға кернеуді қолдану арқылы жасалады. Электростатикалық өріс пен пластинаның бетіндегі индукцияланған зарядтар арасындағы өзара әрекеттесу пластинаны патрон бетіне қарсы ұстайтын күшті қысу күшін тудырады. Алюминий тотығы керамикалық ESC конструкциясы бұл қысқыш күштің пластинка бойынша біркелкі таралуын қамтамасыз етеді, өңдеу кезінде сырғып кету немесе зақымдану қаупін азайтады.

Электростатикалық патрон құрылысында алюминий тотығы керамикасын қолданудың негізгі артықшылықтарының бірі оның ерекше электрлік оқшаулау қасиеттері болып табылады. Глиноземнің жоғары диэлектрлік беріктігі электростатикалық өрістің тұтастығын сақтау үшін өте маңызды электрлік бұзылу қаупінсіз жоғары кернеулерді қолдануға мүмкіндік береді. Бұл, әсіресе, пластина жоғары реактивті орталардың әсеріне ұшырайтын және қысу күшінің кез келген өзгерісі пластинаның ақауларына немесе зақымдалуына әкелуі мүмкін плазмалық сызу немесе химиялық бу тұндыру сияқты процестерде өте маңызды.

Өзінің электрлік қасиеттерінен басқа, алюминий тотығы керамика тамаша жылу өткізгіштігін көрсетеді, ол жартылай өткізгіштерді өңдеу кезінде пайда болатын жылуды басқару үшін қажет. Электростатикалық патронның жылуды тиімді тарату қабілеті вафлиде тұрақты температураны сақтауға көмектеседі, бұл деформацияға немесе термиялық кернеудің басқа түрлеріне әкелуі мүмкін жылу градиенттерін азайтады. Бұл термиялық тұрақтылық фотолитография сияқты процестердің дәлдігі мен қайталануын қамтамасыз етуде өте маңызды, мұнда тіпті шамалы температура ауытқулары нәтижеге әсер етуі мүмкін.