Электрондық Чак

Semicorex E-Chuck - жоғары таза алюминий тотығынан жасалған кулондық типті ESC, әртүрлі жабдықта ерекше өнімділікті ұсынады, соның ішінде ою машиналары, иондарды имплантациялау жүйелері, будың физикалық тұндыру (PVD) және химиялық бу тұндыру (CVD) жүйелері. . Оның негізгі функциясы дәлдікті, сенімділікті және жоғары өнімділікті қамтамасыз ететін сыни процестер кезінде пластиналарды қауіпсіз жерде ұстау болып табылады.


Кулон типті электростатикалық патронның жұмыс істеу принципі электростатикалық тартуға негізделген. Электростатикалық патронға жоғары вольтты тұрақты ток (тұрақты ток) қолданылғанда, керамикалық диэлектрлік қабат пен жартылай өткізгіш пластинасы сияқты ұсталатын өнім арасында поляризация жүреді. Түзілген электростатикалық күштер пластинаны қатты, бірақ жұмсақ ұстайды, бұл тіпті жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріне тән жоғары жылдамдықта және жоғары кернеу жағдайында да орнында қалуға мүмкіндік береді. Semicorex E-Chuck құрылысында қолданылатын жоғары өнімді глинозем материалы тамаша оқшаулау қасиеттері мен жоғары термиялық төзімділігі арқасында осы мақсат үшін тамаша диэлектрлік ортаны қамтамасыз етеді.

Кулон түріндегі E-Chuck-тің маңызды аспектісі оның пластинка мен патрон беті арасындағы дәйекті және біркелкі байланысты сақтау қабілеті болып табылады. Бұл пластинаның әртүрлі процесс кезеңдерінде, мысалы, оюлау, тұндыру немесе ионды имплантациялау кезінде сенімді түрде сақталуын қамтамасыз етеді. Патрон конструкциясының жоғары дәлдігі жартылай өткізгіш өндірісінде талап етілетін жоғары сапалы өнімге қол жеткізу үшін маңызды болып табылатын вафли бойынша күштің біркелкі таралуына кепілдік береді. Сонымен қатар, бұл дәл ұстау механизмі жұмыс кезінде аз қозғалуды немесе сырғуды қамтамасыз етеді, көбінесе нәзік және қымбат болатын пластинаның ақауларының немесе зақымдалуының алдын алады.

Semicorex E-Chuck бірнеше негізгі мүмкіндіктерді ұсынады, бұл оны жартылай өткізгіштерді өндіру үшін тамаша таңдау жасайды. Біріншіден, патронның ішіндегі ішкі электродтар пластинаның қауіпсіз және сенімді бекітілуін қамтамасыз етеді, тіпті тегістеу және тұндыру процестеріне тән қатал плазмалық орталарда. Бұл бекіту әдісі процесс дәлдігі мен соңғы жартылай өткізгіш өнімнің сапасына тікелей әсер ететін пластинаның туралануы мен тұрақтылығын сақтау үшін өте маңызды.

Тағы бір маңызды ерекшелігі - өңдеу кезінде пластинаның температурасын дәл бақылауға мүмкіндік беретін кіріктірілген жылытқыштарды біріктіру. Жартылай өткізгішті өндіру процестері көбінесе қажетті материал қасиеттеріне немесе ою сипаттамаларына қол жеткізу үшін арнайы жылу жағдайларын қажет етеді. Semicorex E-Chuck көп аймақты температура бақылауымен жабдықталған, ол вафли бойынша дәйекті және біркелкі қыздыруды қамтамасыз етеді, ақауларға немесе біркелкі емес нәтижелерге әкелуі мүмкін термиялық градиенттерді болдырмайды. Температураны бақылаудың бұл деңгейі CVD және PVD сияқты процестерде өте маңызды, мұнда материалдың біркелкі тұнбасы жоғары сапалы жұқа қабықшалар алу үшін өте маңызды.

Сонымен қатар, E-Chuck құрылысында жоғары таза глиноземді пайдалану бөлшектердің ластануын азайтады, бұл жартылай өткізгіш өндірісінде маңызды алаңдаушылық тудырады. Тіпті аз мөлшерде ластанудың өзі түпкілікті өнімде ақауларға әкеліп, шығымдылықты төмендетеді және шығындарды арттырады. Semicorex E-Chuck құрылғысының төмен бөлшектерді генерациялау сипаттамасы пластинаның бүкіл процесс барысында таза болып қалуын қамтамасыз етіп, өндірушілерге жоғары өнімділікке және өнімнің сенімділігіне қол жеткізуге көмектеседі.

E-Chuck сонымен қатар оның өнімділігінің тағы бір маңызды факторы болып табылатын плазмалық эрозияға жоғары төзімді болу үшін жасалған. Плазмалық өңдеу сияқты процестерде, пластиналар жоғары реактивті иондалған газдарға ұшырайды, патронның өзі ластаушы заттарды нашарлатпай немесе босатпай осы қатал жағдайларға төтеп беруі керек. Semicorex E-Chuck-те қолданылатын алюминий оксидінің плазмаға төзімді қасиеттері оны ұзақ мерзімді беріктік пен ұзақ уақыт бойы тұрақты өнімділікті қамтамасыз ететін осы талап ететін орталар үшін өте қолайлы етеді.

Semicorex E-Chuck машинасының механикалық беріктігі мен жоғары дәлдікпен өңделуі де назар аударарлық. Жартылай өткізгіш пластинкалардың нәзік табиғатын және өндірісте талап етілетін қатаң рұқсаттарды ескере отырып, патронды қатаң стандарттарға сай жасау өте маңызды. E-Chuck-тің жоғары дәлдіктегі пішіні мен бетін әрлеу пластиналардың қауіпсіз және біркелкі ұсталуын қамтамасыз етеді, бүліну қаупін немесе өңдеудегі сәйкессіздіктерді азайтады. Бұл механикалық беріктік тамаша жылу және электрлік қасиеттермен үйлеседі, Semicorex E-Chuck жартылай өткізгіш процестердің кең ауқымы үшін сенімді және әмбебап шешім етеді.

Semicorex E-Chuck жартылай өткізгіштер өндірісінің күрделі талаптары үшін күрделі шешім болып табылады. Кулон түріндегі электростатикалық қысқыштың, жоғары таза алюминий тотығының құрылымының, біріктірілген қыздыру мүмкіндіктерінің және плазмалық эрозияға төзімділіктің үйлесімі оны ою, иондық имплантация, PVD және CVD сияқты процестерде жоғары дәлдік пен сенімділікке қол жеткізу үшін таптырмас құрал етеді. Өзінің теңшелетін дизайнымен және сенімді өнімділігімен Semicorex E-Chuck жартылай өткізгіштерді өндіру желілерінің тиімділігі мен өнімділігін арттыруды қалайтын өндірушілер үшін тамаша таңдау болып табылады.