CVD-жабын вафли ұстағыш

Subicorex CVD жабыны вафли ұстаушы - бұл эпитакси процестерін қолдана отырып, жартылай өткізгіш материалдардың нақты өсуі кезінде вафлиді қолдауға және ұстап тұруға арналған жоғары өнімді бөлігі. Ол Тантал Карбидімен (TAC) жабылған, бұл оның талап етілетін жағдайы мен сенімділігіне ықпал етеді.

Негізгі ерекшеліктері:

Тантал көмірсутегі жабыны: Танталдың карбидімен (TAC) вафли ұстағыштың қақпағы оның қаттылығына, төзімділігіне және жылу тұрақтылығына байланысты. Бұл жабын өнімнің қатал химиялық ортаға, сондай-ақ жоғары температураға қарсы тұру қабілетіне айтарлықтай ықпал етеді және жартылай өткізгіш өндірісінен талап етіледі.

Тұтқырап қапталған технология: Қаптау TAC форматының және тығыз қабатқа кепілдік беретін суперкритикалық тұндыру әдісімен қолданылады. Кеңейтілген жабындастыру технологиясы жоғары сапалы, ұзаққа созылатын жабындыларды сенімді ұзаққа созумен қамтамасыз етеді.

Қаптау қалыңдығы: TAC жабыны қалыңдығы 120 микронға дейін жетеді, беріктік пен дәлдіктің мінсіз тепе-теңдігін қамтамасыз етеді. Бұл қалыңдығы вафли ұстаушының құрылымдық тұтастығын бұзбай жоғары температура, қысым және реактивті ортаға төтеп бере алатындығын қамтамасыз етеді.

Тамаша жылу тұрақтылығы: тантал карбидінің жабыны вафли иеленушісіне жартылай өткізгіш эпитакси процестеріне тән жоғары температуралық жағдайларға сенімді түрде жұмыс істеуге мүмкіндік беретін керемет жылу тұрақтылығын ұсынады. Бұл мүмкіндік дәйекті нәтиже беру және жартылай өткізгіш материалдың сапасын қамтамасыз ету үшін өте маңызды.

Коррозия және тозу кедергісі: TAC жабыны коррозияға және тозуға жақсы төзімділікті қамтамасыз етеді, вафли ұстаушыға жартылай өткізгіш процестерде жиі кездесетін реактивті газдар мен химиялық заттардың әсерін қамтамасыз етеді. Бұл беріктік өнімнің қызмет ету мерзімін ұзартады және пайдалану тиімділігін арттыру, жиі ауыстыру қажеттілігін төмендетеді.

Өтініштер:

CVD-жабын вафли ұстағышты дәл бақылау және материалдық тұтастық маңызды жағдайда жартылай өткізгіш эпитакси процестеріне арналған. Ол молекулалық сәуле (MBE), химиялық будың тұндыру (CVD), химиялық будың тұндыру (CVD), металл-органикалық буферді тұндыру (MOCVD), мұнда вафли ұстаушы экстремалды температура мен реактивті орталарға төтеп беруі керек.

Жартылай өткізгіш эпитаксиде, дәлдікке сәйкес, субстратқа жоғары сапалы жұқа қабықша өсіру үшін өте маңызды. CVD-жабыны вафлиді иесі вафлидің жоғары сапалы жартылай өткізгіш материалдардың дәйекті өндірісіне ықпал ететін оңтайлы жағдайларда мықтап қол жеткізіп, сақталатынын қамтамасыз етеді.

Subicorex CVD жабыны вафли ұстаушысы жартылай өткізгіш эпитаксидің жоғары талаптарын қанағаттандыру үшін кесілген материалдар мен жетілдірілген жабдықтардың технологиясын қолдану бойынша жобаланған. Қалыңдай, біркелкі, біркелкі так жабыны үшін салқындатқышты қолдануды қолдану теңдестірмеген беріктік, дәлдік және ұзақ өмір сүруді қамтамасыз етеді. Оның жоғары жылу және химиялық төзімділігімен біздің вафлидің иегері сіздің жартылай өткізгішті өндіретін процестердің тиімділігін арттыруға көмектесетін ең қиын ортада сенімді өнімділікті қамтамасыз етуге арналған.