CVD және CVI вакуумдық пеші

Semicorex - Қытайдағы кремний карбидімен қапталған өнімдердің ірі өндірушісі және жеткізушісі. Біз пешке арналған арнайы шешімдерді ұсынамыз. Біздің CVD және CVI вакуумдық пешіміз жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Semicorex CVD және CVI вакуумдық пеші химиялық буларды тұндыру (CVD) процестеріне арналған жоғары сапалы құрал болып табылады. Реакция температурасы 2200°С дейін. Ол кремний карбиді, бор нитриді, графен және т.б. қоса алғанда, материалдардың кең ауқымын сақтауға қабілетті. CVD пеші берік дизайнға ие және ұзақ мерзімді пайдалану үшін сенімділік пен ұзақ мерзімділікті қамтамасыз ететін жоғары сапалы материалдардан жасалған. Оның көлденең және тік құрылымдары бар.

Қолдану:C/C композиттік тежегіш дискі, тигель, қалып және т.б.

Semicorex CVD және CVI вакуумдық пешінің ерекшеліктері

1.Ұзақ мерзімді пайдалануға арналған жоғары сапалы материалдардан жасалған берік дизайн;

2.Массалық ағынды реттегіштер мен жоғары сапалы клапандарды қолдану арқылы дәл басқарылатын газ жеткізу;

3. Қауіпсіз және сенімді жұмыс істеу үшін артық температурадан қорғау және газдың ағып кетуін анықтау сияқты қауіпсіздік мүмкіндіктерімен жабдықталған;

4. Бірнеше температураны бақылау аймақтарын пайдалану, үлкен температура біркелкілігі;

5. Жақсы тығыздау әсері және ластануға қарсы тамаша өнімділігі бар арнайы әзірленген тұндыру камерасы;

6. Тұндыру өлі бұрыштары мен тамаша тұндыру беті жоқ біркелкі газ ағыны бар бірнеше тұндыру арналарын пайдалану;

7. Шөгу процесінде шайырды, қатты шаңды және органикалық газдарды өңдейді

Қосымша мүмкіндіктер:

•Пештің есігі: бұрандалы/гидравликалық/қолмен көтеру түрі; бұралмалы ашу/параллель ашу (үлкен өлшем)

пештің есігі); қолмен тығыз/автоматты құлыптау сақинасы тығыз

• Пеш ыдысы: барлық көміртекті болат/ішкі қабаты баспайтын болат/барлығы тот баспайтын болат

•Пештің ыстық аймағы: жұмсақ көміртекті киіз/жұмсақ графит киіз/қатты композиттік киіз/CFC

• Қыздыру элементі және муфель: изостатикалық пресс графиті/жоғары тазалық, беріктік пен тығыздықтағы графит/жұқа өлшемді графит

• Технологиялық газ жүйесі: көлем/масса шығынын өлшегіш

• Термопар: K түрі/N түрі/C түрі/S түрі

CVD пешінің техникалық сипаттамалары
Үлгі	Жұмыс аймағының өлшемі (W × H × L) мм	Макс. Температура (°C)	Температура Біркелкілік (°C)	Соңғы вакуум (Па)	Қысымның жоғарылау жылдамдығы (Па/сағ)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Жоғарыда көрсетілген параметрлерді процесс талаптарына реттеуге болады, олар қабылдау стандарты, егжей-тегжейлі спецификация ретінде емес. техникалық ұсыныста және келісімдерде көрсетіледі.