Керамикалық электростатикалық Чактар

Subicorex керамикалық электростатикалық чактар - бұл жоғары өнімді алюминий мен алюминийлі нитридтік керамикадан жасалған дәл электростатикалық адсорбция компоненттері, ол вафлиді бекіту және бекіту үшін электростатикалық адсорбция принципін қолданады. Ол жартылай өткізгіштер өндіретін алқаптарда кеңінен қолданылады. Subicorex алдыңғы қатарлы технологиялар, сапалы материалдар және үнемді өнімдер бар. Біз Қытайда сіздің сенімді жеткізу серіктесіңіз деп күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Керамикалық электростатикалық ЧактарВафлиді қысып, бекіту үшін электродтар мен вафли арасында пайда болатын электростатикалық өрісті қолданатын дәл компоненттер. Олар жартылай өткізгіштер, жалпақ панельдер және оптика сияқты өрістерде кеңінен қолданылады және PVD құрылғылары сияқты жоғары деңгейлі жабдықтың, машиналар мен ион импланерлерінің негізгі компоненттері болып табылады.

Дәстүрлі механикалық чактармен және вакуумдық чактармен салыстырғанда, керамикалық электростатикалық Чактар жартылай өткізгіш өндіріс саласында көптеген артықшылықтарға ие. Бұл керамикалық электростатикалық Чакты өз бетіне тегістеу және біркелкі ұстау үшін статикалық электр энергиясын пайдаланады. Бұл біркелкі адсорбциялық күш адсорбцияланған нысанды салыстырмалы түрде тегіс ұстай алады, алдын алавафлидәстүрлі механикалық чактардан туындауы мүмкін немесевакуумдық чактар, және вафлидің жоғары дәлдікті жартылай өткізгіш процестер үшін жарамды дәлдікті сақтайды.

Кейбір керамикалық электростатикалық Чактар ыстықты жылу функциялары бар, олар вафлидің температурасын кері соққы немесе ішкі жылыту электродтары арқылы дәл бақылап, әртүрлі процестердің қатаң температуралық талаптарына бейімделеді және өңдеу тұрақтылығын жақсартады.

Механикалық чактардан айырмашылығы, керамикалық электростатикалық Чактар механикалық қозғалмалы бөліктерді азайтады, бөлшектердің ластаушы заттарының вафлидің сапасына әсерін азайтады, вафлидің тазалығын тиімді қорғайды және өнімнің шығымдылығын арттырады.

Керамикалық электростатикалық Чактар кең үйлесімділік ұсынады. Олар әр түрлі өлшемдер мен материалдарды, соның ішінде кремний, галлий арсениді және кремний карбиді, жиналыс алуан өндіріске қарсы жиналыстарды қоса алғанда, әр түрлі өлшемдер мен материалдарды орналастыра алады.

Олар вакуумдық ортада вакуумдық ортада вакуумдық ортада, химиялық бумен тұндыру (CVD), химиялық бумен тұндыру (CVD) және жартылай өткізгіш өндірісіндегі басқа да процестерге өте жақсы жұмыс істей алады.