Керамикалық электростатикалық патрон

Алюминий тотығы керамикасынан жасалған Semicorex керамикалық электростатикалық патрон әртүрлі дайындау процестері кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды сенімді ұстау үшін өте маңызды. Материалдық қасиеттердің бірегей үйлесімімен бұл керамикалық электростатикалық патрон жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру кезінде дәлдікті, сенімділікті және тиімділікті қамтамасыз етуде шешуші рөл атқарады.

Керамикалық электростатикалық патронның негізінде алюминий тотығы керамика табылады, ол өзінің ерекше физикалық және химиялық қасиеттері үшін өнеркәсіпте жоғары бағаланған материал. Алюминий тотығы (Al2O3) ESC контекстінде маңызды болып табылатын керемет электрлік оқшаулау мүмкіндіктерімен танымал. Жартылай өткізгішті өңдеу кезінде пластиналар дайындалып жатқан нәзік схемаға әсер етуі мүмкін кез келген электрлік кедергілерсіз мықтап ұсталуы керек. Алюминий тотығы керамикасының жоғары диэлектрлік беріктігі патронның электр разрядының қаупінсіз қажетті жоғары кернеулерде жұмыс істеуін қамтамасыз етеді, бұл пластинаның орны мен тұтастығын сақтау үшін маңызды тұрақты және сенімді қысқыш күшін қамтамасыз етеді.

Керамикалық электростатикалық патрон алюминий тотығы керамикаға енгізілген электродтар арқылы электростатикалық өрісті тудыру арқылы жұмыс істейді. Кернеу қолданылған кезде, алынған өріс пластинаны патронның бетіндегі орнында мықтап ұстайтын күшті қысу күшін жасайды. Бұл механикалық емес қысу әдісі жартылай өткізгішті өңдеуде әсіресе тиімді, себебі ол физикалық жанасуды азайтады және ластану және пластинаның механикалық зақымдалу қаупін азайтады, бұл әсіресе ең кішкентай ақаудың өзі өнімділіктің айтарлықтай жоғалуына әкелетін жетілдірілген түйіндер үшін өте маңызды.

Керамикалық электростатикалық патронның ерекше ерекшеліктерінің бірі оның термиялық өнімділігі болып табылады. Жартылай өткізгіш процестер көбінесе пластинаға термиялық кернеуді енгізуі мүмкін жоғары температураны қамтиды. Алюминий тотығы керамика оның тамаша жылу өткізгіштігі үшін бағаланады, бұл керамикалық электростатикалық патронға өңдеу кезінде пайда болатын жылуды тиімді түрде таратуға мүмкіндік береді. Бұл термиялық басқару мүмкіндігі пластинадағы температураның біркелкі таралуын қамтамасыз ету үшін өте маңызды, осылайша деформацияға немесе микрокрекингке әкелуі мүмкін жылу градиенттерін азайтады. Глиноземді керамикамен қамтамасыз етілген тұрақтылық фотолитография және сызу сияқты маңызды процестердің дәлдікпен орындалуын қамтамасыз етеді, бұл бүкіл өндірістік цикл бойы вафлидің тұтастығын сақтайды.

Сонымен қатар, алюминий тотығы керамикасының механикалық беріктігі ESC беріктігі мен ұзақ қызмет ету мерзіміне айтарлықтай үлес қосады. Жартылай өткізгішті өндіруде керамикалық электростатикалық патрон пластинаны орналастырудың, өңдеудің және алудың қайталанатын циклдарына ұшырайды. Глиноземнің тозуға төзімділігі патронның бұл циклдарға айтарлықтай бұзылусыз төзе алатынын қамтамасыз етеді. Бұл тозуға төзімділік патронның қызмет ету мерзімін ұзартып қана қоймайды, сонымен қатар бөлшектердің пайда болу ықтималдығын азайтады, әйтпесе пластинаны ластауы және құрылғының сапасын бұзуы мүмкін. Материалдың қаттылығы сонымен қатар патрон бетінің тегіс және біркелкі болып қалуын білдіреді, бұл дәйекті қысу күшін сақтаудың және пластинаның зақымдалуын болдырмаудың маңызды факторы.