Глиноземді вафельді жылтырату тақталары

Semicorex алюминий тотығы пластинасы жылтырату тақталарыизостатикалық престеу, жоғары температурада агломерациялау және дәл өңдеу арқылы жоғары таза алюминий тотығынан жасалған дәл өңделген бөлшектер. Олар бетінің ультра жоғары дәлдігі мен тиімділігіне, әсіресе жартылай өткізгіш пластинаны жылтыратуға қойылатын қатаң талаптары бар дәлдікпен жылтырату қолданбалары үшін өте қолайлы, өйткені глиноземді керамика ерекше физикалық және химиялық қасиеттерді ұсынады.

---

Тозуға тамаша төзімділік үшін ұзақ қызмет ету мерзімі

Жоғары тозуға төзімділік жоғары дәлдікпен өңдеуде қолданылатын пластиналарды жылтырату үшін өте маңызды. Алюминий тотығы керамикасының Mohs қаттылығы шамамен 9, алмаз және кремний карбидінен кейін екінші орында, бұл пластина жылтырату пластиналарына тозуды аз жоғалтумен жартылай өткізгіш пластинаны жылтырату кезінде жоғары жылдамдықты, жоғары жүктемелі үйкеліс жұмыс жағдайларына төтеп беруге мүмкіндік береді. Бұл тамаша тозуға төзімділігімен, глиноземді вафлиді жылтырату тақталары ұзақ қызмет ету мерзімін көрсетеді, бұл ауыстыру үшін жабдықты өшіру жиілігін айтарлықтай төмендетеді және техникалық қызмет көрсету мен ауыстыру шығындарын азайтады.

Ерекше термиялық тұрақтылық және жоғары температураға төзімділік

Глиноземвафельді жылтырату пластиналары ерекше термиялық тұрақтылығы мен жоғары температураға төзімділігі арқасында 1000 ℃ жоғары температуралық ортада физикалық қасиеттері мен үйкеліс өнімділігін сақтай алады. Олар термиялық деформацияны тиімді болдырмайтын және тұрақты жылтырату бетінің сақталуына ықпал ететін жиі үйкелістен туындаған жоғары температуралық жұмыс жағдайларына жарамды.

Сенімді химиялық коррозияға төзімділік

Глиноземді вафельді жылтырату тақталары сенімді химиялық коррозияға төзімділікке ие. Олар көптеген қышқылдар мен сілтілерге, сондай-ақ CMP процесінде қолданылатын жалпы химиялық жылтырату ерітінділеріне төтеп бере алады. Олардың бетінің тегістігі химиялық коррозиямен бұзылмайды, осылайша жартылай өткізгіш пластиналар бетінің сапасына әсер етеді.

---

Semicorex Alumina пластинкаларын жылтырату үшін қосымшалар

1.Жартылай өткізгіш пластинаны жылтырату

Глиноземді вафельді жылтырату пластиналары кремнийді, SiC, сапфирді және әртүрлі вафельді субстраттарды тегістеуде, өрескел жылтыратуда және әрлеуде кеңінен қолданылады. Өте төмен кедір-бұдырлығының және наноөлшемді бетінің тегістігінің арқасында глиноземді пластинаны жылтырату пластиналары ою және литография сияқты жетілдірілген жартылай өткізгіш процестердің бет сапасының талаптарын өте жақсы қанағаттандыра алады.

2.Вафельді жұқарту және жиегін жылтырату

Вафлиді жұқарту процесінде глиноземді вафлиді жылтырату пластиналарын пластинаның қалыңдығын дәл бақылау және артқы жағындағы материалдарды біркелкі алып тастау үшін пайдалануға болады. Шетін жылтырату процесінде глиноземді жылтырату пластиналары сонымен қатар вафли шеттеріндегі қылшықтарды және ақауларды жою арқылы пластинаның оңтайлы жиектерінің сапасына қол жеткізуге көмектеседі.