Алюминий тотығының соңғы эффекторы

Semicorex Alumina End Effector үшін материалды таңдау жоғары таза алюминий тотығы керамикасының жартылай өткізгішті өндіруде кездесетін қатал орталарға бірегей жарамдылығымен негізделеді: 

Ластануды бақылау үшін ерекше тазалық: Субстрат ретінде жоғары таза алюминий тотығы керамикасын қамтитын Alumina End Effector қоспалардың өте төмен деңгейлерімен сипатталады, бұл электрлік қасиеттерге немесе сезімтал жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігіне нұқсан келтіретін ластаушы заттарды енгізбеуін қамтамасыз етеді.

Процесс әмбебаптығы үшін жоғары температура тұрақтылығы:Alumina End Effector термиялық тотығу, диффузия және химиялық булардың тұндыру сияқты процестерде кездесетін жоғары температураларда да құрылымдық тұтастығын және өлшемдік дәлдігін сақтай отырып, тамаша термиялық тұрақтылықты көрсетеді.

Қатты орта үшін химиялық инерттілік:Alumina End Effector-қа тән химиялық тұрақтылық оны жартылай өткізгіштерді өңдеуде жиі қолданылатын қышқылдардың, негіздер мен еріткіштердің кең ауқымын өткізбейтін етеді. Бұл инерттілік соңғы эффектордың коррозиясын немесе деградациясын болдырмайды, оның ұзақ мерзімді жұмысын қамтамасыз етеді және бөлшектердің ластану қаупін азайтады.

Ұзартылған қызмет мерзімі үшін берік механикалық қасиеттер:Алюминий тотығы керамика қаттылығымен, тозуға төзімділігімен және өңдеудің және тазалаудың қайталанатын циклдарына бұзылмай төтеп беру қабілетімен танымал. Бұл беріктік алюминий тотығының соңғы эффектісінің қызмет ету мерзімін ұзартады, ауыстыру шығындары мен тоқтап қалу уақытын азайтады.

Alumina End Effector дәлдігі, тазалығы және ұзақ мерзімділігі оны жартылай өткізгіштерді өндірудің маңызды процестерінің ауқымындағы маңызды құрамдасқа айналдырды:

Фотолитография:Вафельді дәл туралау және орналастыру фотолитографияда өте маңызды, мұнда тіпті шамалы ауытқулар тура келмеу қателеріне және құрылғының істен шығуына әкелуі мүмкін. Alumina End Effector осы маңызды процесс қадамы үшін қажетті дәлдік пен тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

Химиялық механикалық планаризация (CMP):CMP-ге қатысатын химиялық агрессивті суспензияларға және механикалық күштерге төтеп беру қабілеті Alumina End Effector-ті осы маңызды процесс кезінде пластиналарды өңдеу үшін тамаша етеді, бұл пластинаның бетін кейінгі қабаттарға тегістейді.

Вафельді тексеру және метрология:Alumina End Effector ластанбайтын және зақымдамайтын табиғаты оны тексеру және метрологиялық процестер кезінде пластиналарды өңдеуге, дәл өлшеулерді қамтамасыз етуге және ақаулардың пайда болу қаупін азайтуға өте ыңғайлы етеді.