Алюминий тотығы керамикалық вакуумдық патрондар

Алюминий тотығы керамикалық вакуумдық патрондарәдетте жартылай өткізгіш пластиналарды қолдауға және бекітуге жауап беретін жартылай өткізгіш жабдықты өңдеу аймағының негізгі аймағында орналастырылады. Олар вакуумдық сорғыларға қосылған және вакуумды адсорбция принципін қолдана отырып, глиноземді керамикалық вакуумдық патрондардың бетіне жартылай өткізгіш пластиналарды тығыз адсорбциялай алады. Нақты жұмыс кезінде вакуумдық сорғылар вафли мен патронның арасынан ауаны шығарып, вафлиді орнында мықтап ұстайтын вакуумдық орта жасайды. Бұл өңдеу кезінде пластинаның тұрақты орналасуын қамтамасыз етеді және пластинаның жылжуынан туындаған өңдеу қателерін тиімді азайтады.

Жартылай өткізгіш пластинаны бекіту үшін жеткілікті адсорбция күшін жасау үшін алюминий тотығы керамикалық вакуумдық патрон пластинаның бетіне мықтап жабысуы керек. Адсорбция күші жеткіліксіз болғандықтан, вакуумдық жағдайды сақтау сәтсіздікке әкеледі, осылайша пластинаның ажырап кетуіне немесе жылжуына әкеледі. Бұл көзде мұндай проблемаларды болдырмау үшін алюминий тотығы керамикалық вакуумдық патрондардың бетінің тегістігіне қатаң талаптар қояды. Күтілетін адсорбциялық әсерді қамтамасыз ету үшін қажетті тегістікке қол жеткізу үшін олардың бетін дәл механикалық жылтырату керек.

Операциялық тұрғыдан алғанда, Semicorex алюминий тотығы бар керамикалық вакуумдық патрондар заманауи жартылай өткізгіш өндірісін автоматтандыруға қол жеткізудегі маңызды компоненттер болып табылады. Олар пластиналарды дәл алуға, орналастыруға, теңестіруге және өңдеуге мүмкіндік беретін автоматтандырудың біркелкі прогресін жеңілдетеді. Глиноземді керамикалық вакуумдық патрондардың жақсы жобаланған құрылымы мен сыртқы түрі ауаның жылдам өтуіне мүмкіндік береді, бұл тиімді вакуумдық адсорбцияға және босатуға қол жеткізеді және жарамсыз адсорбциялық күш әсерінен пластинаның деформациясын немесе зақымдалуын болдырмайды. Сонымен қатар, Semicorex жеңіл салмақты пайдаланадыалюминий тотығы керамикаалюминий тотығы бар керамикалық вакуумдық патрондардың жалпы салмағын азайту үшін. Бұл материалды таңдау жабдықты орнату мен пайдалануды жеңілдетеді, осылайша пайдалану тиімділігін айтарлықтай арттырады.

Көптеген керемет өнімділікке ие бола отырып, Semicorex алюминий тотығы бар керамикалық вакуумдық патрондар өңдеу дәлдігі мен өнімділігін арттыру үшін пластинаны жұқарту, текшелерді кесу, ұнтақтау, жылтырату, фотолитография, ою және басқа процестер сияқты жартылай өткізгіштерді өндіру өнеркәсібінде кеңінен қолданылады.