Алюминий керамикалық манипулятор

Алюминий керамикалық манипуляторСондай-ақ, алюминий керамикалық шанышқысы және вафлиді пайдалану эффекторы деп те аталады. Ол вафлиді өңдеу роботында орнатылған және роботтың қолына тең. Ол жартылай өткізгіштік вафлиді тасымалдау, тасымалдау және орналастыру үшін қолданылады.Кремний вафлилерібасқа бөлшектердің ластануына өте сезімтал, сондықтан олар әдетте тазарту үшін вакуумдық ортада өңделеді. Алюминий керамикалық манипуляторлары Вафлиді және көлік жартылай өткізгіш вафлиді қолдың телескопы, айналу және көтеру қимылдары арқылы алып тастау үшін теріс қысымды соруды пайдаланады. Алюминий керамикалық манипуляторының ішіндегі ауа саңылаулары мен желдеткіш ойықтары бар, ол ауа сорып жатқан кезде вакуумды құра алады, сондықтан жартылай өткізгіш вафлиді жартылай өткізгіш вафлиді қысу немесе зақымдауы мүмкін.

Құрамы таза екені белгіліАлюминий керамикаБұл оның күші соғұрлым жоғары болады. Subicorex алюминийлі керамикалық манипуляторлар жоғары тазалық алюминий керамикасынан жасалған. Бұл ерекше механикалық беріктік пен қаттылыққа әкеледі. Олардың тозуға қарсы тұрақтылығы болат пен хром болаттан асып кетеді, олар жоғары үйкеліс ортасында уақтылы сақтап, вафли сызаттар қаупін азайтады және оларды жоғары дәлдікке итермелейді. Бұл алюминий керамикалық манипуляторының жоғары кедергісі бар. Оның электр оқшаулау қасиеттері электростатикалық кедергілердің алдын алады және таза вафли бетін сақтау үшін бөлшектердің адсорбциялану қаупін азайтады. Сонымен қатар, жартылай өткізгішті өндіріс процесі жабдық ішіндегі күрделі тізбектер мен жоғары вольтты орталарды қамтиды. Жоғары төзімді алюминий керамикалық манипулятор ағымдық өткізгішті тиімді блоктайды, жартылай өткізгіш вафли кезінде электр қауіпсіздігін қамтамасыз етеді. Алюминий керамиканың жоғары температураға төзімділігі мен жылу тұрақтылығының арқасында манипулятор жартылай өткізгіш термиялық өңдеу процесінде өте аз, ал термуляторды термуляциялау өте аз, вафлиді дәл ұстанады және жылу деформациядан туындаған дәл дефацияны болдырмайды. Сонымен қатар, бұл материалдың химиялық тұрақтылығы бар және қышқылдар, сілтілер, балқытылған металдар және т.б. коррозияға төзімді, ластану бөлшектерін шығару оңай емес және жартылай өткізгіш бөлшектерді химиялық ластанудан қорғауға оңай болмайды.