Эттинг - жартылай өткізгіштерді өндірудегі маңызды процесс. Бұл процесті екі түрге бөлуге болады: құрғақ ою және дымқыл ою. Әрбір техниканың өзіндік артықшылықтары мен шектеулері бар, бұл олардың арасындағы айырмашылықтарды түсінуді өте маңызды етеді. Сонымен, ең жақсы ою әдісін қалай таңдауға болад......
Ары қарай оқуҚазіргі үшінші буындағы жартылай өткізгіштер негізінен кремний карбидіне негізделген, субстраттар құрылғы құнының 47% құрайды, ал эпитаксия 23% құрайды, шамамен 70% және SiC құрылғыларын өндіру өнеркәсібінің ең маңызды бөлігін құрайды.
Ары қарай оқуКремний карбиді (SiC) және галий нитриді (GaN) сияқты кең диапазонды жартылай өткізгіштер (WBG) қуатты электронды құрылғыларда маңызды рөл атқарады деп күтілуде. Олар дәстүрлі кремний (Si) құрылғыларына қарағанда жоғары тиімділікті, қуат тығыздығын және ауысу жиілігін қоса алғанда, бірнеше артықшылы......
Ары қарай оқу