Әр түрлі типтегі реакторлар арасындағы құрылымдық айырмашылықтар

Реакция камерасының конфигурациясына байланысты термиялық өңдеу жабдығы (пеш түтік жабдығы) негізінен үш санатқа бөлінеді: тік пеш құбырлары, көлденең пеш түтіктері және жылдам термиялық өңдеу (RTP) пештері.

Пештің тік түтіктерінде тігінен орналасқан кварц түтіктері бар, пластиналар қыздыру үшін түтіктердің айналасына орналастырылған. Олардың негізгі артықшылықтары - температураның біркелкі таралуы, атмосфераны дәл бақылау, жоғары автоматтандыру, аз бөлшектердің ластануы, аз ізі және сериялық өңдеуге қолдау көрсету (әсіресе 12 дюймдік пластиналар үшін қолайлы), бұл оларды қазіргі уақытта қол жетімді негізгі жабдыққа айналдырады. Жаһандық нарық көлемі 2024 жылы 3,2 миллиард долларға жетті (SEMI деректері). Олардың кемшіліктеріне газ-сұйықтықтың оңай бөлінуі және пеш түтігінің күйіп кетуіне әкелетін ортаның төмен қарай ағуы жатады.

Көлденең пеш түтіктерінде бір уақытта 100-200 пластинаны өңдейтін көлденең орналасқан кварц түтіктері бар. Олардың артықшылығы пеш түтігінің ішіндегі біркелкі газ-сұйықтық ағынын және температураны дәлірек бақылауды қамтиды. Олардың кемшіліктері үлкен ізді және жоғары легирленген болаттан жасалған аралық түтік тіректерін жоғары тұтынуды қамтиды. Құрылымдық түрде, көлденең пеш түтіктері пластиналарды өңдеуге арналған көлденең түтіктердің ішінде тігінен орналастырады.

Жылдам термиялық күйдіру (RTP) пештері жалғыз пластиналарды жылдам қыздыру үшін галогендік инфрақызыл шамдарды пайдаланады, бұл камераның температурасын өзгертпей тек пластинаның температурасын өзгертетін жылдам қыздыру және салқындату жылдамдығын ұсынады. Олар шағын топтаманы жылдам жасыту үшін жарамды, бірақ жаппай өндіру үшін емес.

Вафельді өңдеуде көлденең пеш түтіктері пластинаны кварцты қайыққа орналастырады, ол өз кезегінде кремний карбидінің (SiC) тіреуіш жақтауына тіреледі. Содан кейін тіреуіш жақтау кварц пешінің түтігіне итеріледі, онда вафли тұрақты температура аймағында реакциядан өтеді. Пештің тік түтіктері, керісінше, вафлиді кварц мұнарасына қойып, оны өңдеу үшін кварц пешінің түтігіне баяу көтереді. Реакциядан кейін иілуді немесе сынуды болдырмау үшін вафельді баяу түсіреді.

Semicorex жоғары сапалы тапсырыс бойынша жеткізіледікварц пешінің реакторы. Біздің өнімдер жоғары термиялық тұрақтылықты, ұзартылған қызмет мерзімін және процестің ерекше консистенциясын қамтамасыз ету үшін жасалған. Теңшелген шешімдер немесе қосымша техникалық ақпарат алу үшін біздің инженерлік топқа хабарласыңыз.

Телефон: +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com