Қазіргі жартылай өткізгіштер өндірісіндегі күйдіру процестері

Технологиялық түйіндердің қысқаруын жалғастыратындықтан, өте таяз түйіспелердің қалыптасуы айтарлықтай қиындықтар тудырады. Термиялық күйдіру процестері, соның ішіндеЖылдам термиялық күйдіру (RTA)және жарқыл шамын күйдіру (FLA) диффузияны азайтып, құрылғының оңтайлы өнімділігін қамтамасыз ете отырып, жоғары қоспаларды белсендіру жылдамдығын сақтайтын маңызды әдістер болып табылады.

1. Өте таяз түйіспе түзілуі:

Технологиялық түйіндер қысқарған сайын, өте таяз түйіспелерді қалыптастыру қиынға соғады. Жылдам термиялық күйдіру сияқты әдістер (RTA) және жарқыл шамын күйдіру (FLA) диффузияны азайта отырып, жоғары қоспаларды белсендіру жылдамдығына қол жеткізу үшін өте маңызды, осылайша құрылғының оңтайлы өнімділігін қамтамасыз етеді.

2. Жоғары к қақпалы диэлектриктердің модификациясы:

Тұндырудан кейінгі күйдіру (PDA) жоғары к-қақпалы диэлектриктердің электрлік қасиеттерін айтарлықтай арттырады. Бұл процесс кеңейтілген логика және жад құрылғылары үшін маңызды болып табылатын қақпаның ағып кетуін азайтады және диэлектрлік тұрақтыларды арттырады.

3. Металл силицидтерінің түзілуі:

CoSi және NiSi сияқты металл силицидтерін оңтайландыру жанасуды және көлемді қарсылықты жақсарту үшін өте маңызды. Жасыту жағдайларын дәл бақылау құрылғының жалпы тиімділігін арттыра отырып, тамаша қорытпа фазаларын құруды жеңілдетеді.

4. 3D интеграциялық технологиялар:

3D NAND және 3D DRAM сияқты технологияларда жасыту процестері бірнеше қабаттарда қолданылуы керек. Жылдам термиялық әдістер әр қабаттың оңтайлы өнімділікке қол жеткізуін қамтамасыз етуде шешуші рөл атқарады.

Жылыту жартылай өткізгіштерді өндіруде маңызды болып табылады, бұл температураны, уақытты және жылу бюджеттерін дәл бақылау арқылы тордың зақымдалуын жөндеуге, қоспаларды белсендіруге, пленканы өзгертуге және металл силицидін қалыптастыруға мүмкіндік береді. Технологиялық түйіндер кішірейген сайын жасытудың жетілдірілген әдістері сияқтыRTA, FLA және лазерлік шиппен жасыту негізгі ағымға айналды. Болашаққа қарап, жасыту процесі пайда болған материалдар мен құрылғылардың талаптарын қанағаттандыру үшін инновацияларды жалғастырады.

Semicorex жетекші саланы ұсынадыкүйдіретін ерітінділер, жартылай өткізгіш құрылғыларыңыздың дәлдік пен сенімділікпен ең жоғары өнімділік стандарттарына сай болуын қамтамасыз ету.

Егер сізде қандай да бір сұрақтар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com