Термиялық күйдіру дегеніміз не

Жасыту процесі, сондай-ақ термиялық күйдіру деп аталады, жартылай өткізгіштерді өндірудегі маңызды қадам болып табылады. Ол кремний пластинкаларын жоғары температураға ұшырату арқылы материалдардың электрлік және механикалық қасиеттерін арттырады. Жасытудың негізгі мақсаттары тордың зақымдалуын жөндеу, қоспаларды белсендіру, пленка қасиеттерін өзгерту және металл силицидтерін жасау болып табылады. Жасыту процестерінде қолданылатын бірнеше жалпы жабдық бөліктеріне SiC жабыны бар теңшелген бөлшектер кіреді, мысалыіскер, қақпақтар, т.б. Semicorex ұсынған.

Күйдіру процесінің негізгі принциптері

Жасыту процесінің негізгі принципі материалдағы атомдарды қайта реттеу үшін жоғары температурада жылу энергиясын пайдалану, осылайша нақты физикалық және химиялық өзгерістерге қол жеткізу болып табылады. Ол негізінен келесі аспектілерді қамтиды:

1. Тордың зақымдалуын жөндеу:

  - Иондық имплантация: жоғары энергиялы иондар ионды имплантациялау кезінде кремний пластинасын бомбалап, тор құрылымына зақым келтіріп, аморфты аймақты жасайды.

  - Күйдіру жөндеуі: жоғары температурада аморфты аймақтағы атомдар тор тәртібін қалпына келтіру үшін қайта реттеледі. Бұл процесс әдетте шамамен 500°C температура диапазонын қажет етеді.

2. Қоспаны белсендіру:

  - Қоспаның көші-қоны: Жасыту процесі кезінде енгізілген қоспа атомдары допингті тиімді түрде жасай отырып, интерстициалды орындардан тор алаңдарына ауысады.

  - Іске қосу температурасы: Қоспаны белсендіру әдетте 950°C шамасында жоғарырақ температураны қажет етеді. Жоғары температура қоспаның жоғары белсендіру жылдамдығына әкеледі, бірақ шамадан тыс жоғары температура қоспаның шамадан тыс диффузиясын тудырып, құрылғының жұмысына әсер етуі мүмкін.

3. Фильмді өзгерту:

  - Тығыздау: күйдіру құрғақ немесе дымқыл ою кезінде борпылдақ қабықшаларды тығыздап, олардың қасиеттерін өзгертуі мүмкін.

  - Жоғары k қақпалы диэлектриктер: жоғары k қақпалы диэлектриктердің өсуінен кейін тұндырудан кейінгі күйдіру (PDA) диэлектрлік қасиеттерді жақсарта алады, қақпаның ағып кетуін азайтады және диэлектрлік өтімділікті арттырады.

4. Металл силицидінің түзілуі:

  - Қорытпа фазасы: металл қабықшалары (мысалы, кобальт, никель және титан) қорытпалар түзу үшін кремниймен әрекеттеседі. Күйдірудің әртүрлі температуралық жағдайлары әртүрлі қорытпа фазаларының пайда болуына әкеледі.

  - Өнімділікті оңтайландыру: Жасыту температурасы мен уақытын бақылау арқылы контактіге төзімділігі төмен және дене кедергісі бар қорытпа фазаларына қол жеткізуге болады.

Жасыту процестерінің әртүрлі түрлері

1. Жоғары температуралы пешті күйдіру:

Ерекшеліктері: Жоғары температурада (әдетте 1000°C жоғары) және ұзақ жасыту уақытымен (бірнеше сағат) дәстүрлі күйдіру әдісі.

Қолдану: SOI субстратын дайындау және терең n-ұңғыма диффузиясы сияқты жоғары жылу бюджетін қажет ететін қолданбалар үшін қолайлы.

2. Жылдам термиялық күйдіру (RTA):

Ерекшеліктер: Жылдам қыздыру және салқындату сипаттамаларын пайдалана отырып, жасытуды қысқа мерзімде, әдетте шамамен 1000°C температурада және секундтар уақытында аяқтауға болады.

Қолданылуы: Өте таяз түйіспелерді қалыптастыру үшін әсіресе қолайлы, ол қоспалардың шамадан тыс диффузиясын тиімді төмендете алады және жетілдірілген түйін өндірісінің ажырамас бөлігі болып табылады.

3. Жарқыл шамын күйдіру (FLA):

Мүмкіндіктер: Жылдам күйдіруге қол жеткізу үшін кремний пластинкаларының бетін өте қысқа уақыт ішінде (миллисекундтар) жылыту үшін жоғары қарқынды шамдарды пайдаланыңыз.

Қолданылуы: 20 нм-ден төмен сызық ені бар ультра таяз легирлеуді белсендіру үшін қолайлы, ол қоспаның жоғары активтену жылдамдығын сақтай отырып, қоспаның диффузиясын азайта алады.

4. Лазерлік түтікпен күйдіру (LSA):

Мүмкіндіктер: Жергілікті және жоғары дәлдіктегі жасытуға қол жеткізу үшін кремний пластинкасының бетін өте қысқа уақыт ішінде (микросекундтар) жылыту үшін лазерлік жарық көзін пайдаланыңыз.

Қолданылуы: FinFET және high-k/metal gate (HKMG) құрылғыларын өндіру сияқты жоғары дәлдікті басқаруды қажет ететін жетілдірілген технологиялық түйіндер үшін әсіресе қолайлы.

Semicorex жоғары сапаны ұсынадыCVD SiC/TaC жабын бөліктерітермиялық күйдіруге арналған. Егер сізде қандай да бір сұрақтарыңыз болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com