Электростатикалық патрон (ESC) дегеніміз не?

Жартылай өткізгішті өндіруде ою процесінің дәлдігі мен тұрақтылығы маңызды. Жоғары сапалы оюға қол жеткізудің маңызды факторларының бірі - процесс барысында вафлилердің науаға мінсіз тегіс болуын қамтамасыз ету. Кез келген ауытқу біркелкі емес иондық бомбалауды тудыруы мүмкін, бұл жағымсыз бұрыштар мен ою жылдамдығының өзгеруіне әкеледі. Осы міндеттерді шешу үшін инженерлер дамыдыЭлектростатикалық патрондар (ESC), олар ою сапасы мен тұрақтылығын айтарлықтай жақсартты. Бұл мақалада бір негізгі аспектіге назар аудара отырып, ESC дизайны мен функционалдығы қарастырылады: пластинаның адгезиясының артындағы электростатикалық принциптер.

Электростатикалық пластинаның адгезиясы

принципіШЫҒУпластинаны сенімді ұстау қабілеті оның электростатикалық дизайнында жатыр. Қолданылатын екі негізгі электрод конфигурациясы барШЫҒУs: бір электродты және қос электродты конструкциялар.

Бір электродты дизайн: Бұл дизайнда бүкіл электрод біркелкі тараладыШЫҒУбеті. Тиімді болғанымен, ол адгезия күшінің орташа деңгейін және өрістің біркелкілігін қамтамасыз етеді.

Қос электродты дизайн: Дегенмен, қос электродты дизайн күшті және біркелкі электростатикалық өрісті жасау үшін оң және теріс кернеулерді пайдаланады. Бұл дизайн жоғары адгезия күшін ұсынады және пластинаның ESC бетінде тығыз және біркелкі ұсталуын қамтамасыз етеді.

Электродтарға тұрақты кернеуді бергенде электродтар мен пластинаның арасында электростатикалық өріс пайда болады. Бұл өріс оқшаулағыш қабат арқылы созылады және пластинаның артқы жағымен әрекеттеседі. Электр өрісі пластинаның бетіндегі зарядтарды қайта бөлуге немесе поляризацияға әкеледі. Қоспаланған кремний пластиналары үшін бос зарядтар электр өрісінің әсерінен қозғалады — оң зарядтар теріс электродқа, ал теріс зарядтар оң электродқа қарай жылжиды. Қоспаланбаған немесе оқшаулағыш пластиналар жағдайында электр өрісі дипольдерді құра отырып, ішкі зарядтардың аздап ығысуын тудырады. Пайда болған электростатикалық күш пластинаны патронға мықтап жабыстырады. Бұл күштің күшін Кулон заңы мен электр өрісінің кернеулігі арқылы жуықтап анықтауға болады.