Жартылай өткізгіштер өндірісінде кварцтың әртүрлі қолданылуы

Бір қарағанда,кварц (SiO2) материалышыныға өте ұқсайды, бірақ ерекшелігі қарапайым шыны көптеген компоненттерден тұрады (мысалы, кварц құмы, бор, бор қышқылы, барит, барий карбонаты, әктас, дала шпаты, сода күлі және т.б.), ал кварц тек құрамында SiO2 және оның микроқұрылымы кремний диоксиді тетраэдрлік құрылымдық бірліктерден тұратын қарапайым желі болып табылады.

Өйткені құрамындағы металл қоспаларының мөлшерікварцөте кішкентай және оның тазалығы өте жоғары, кварцтың өзі басқа көзілдіріктер көрсете алмайтын сипаттамалары мен артықшылықтарына ие және шыны материалдардың «тәжі» ретінде белгілі. Мысалы, ыстыққа төзімділігі жағынан кварц отқа қызыл күйіп кеткеннен кейін бірден суға салынса да жарылмайды. Нақтырақ артықшылықтар келесідей:

1. Жоғары температураға төзімділік. Кварц әйнегінің жұмсарту нүктесі шамамен 1730 ℃ және оны 1150 ℃ температурада ұзақ уақыт қолдануға болады, ал максималды температура қысқа уақыт ішінде 1450 ℃ жетуі мүмкін.

2. Коррозияға төзімділік. Фторлы қышқылды қоспағанда, жоғары таза кварц басқа қышқыл заттармен химиялық реакцияға түспейді. Жоғары температурада ол күкірт қышқылының, азот қышқылының, тұз қышқылының, акварегияның, бейтарап тұздардың, көміртегі мен күкірттің коррозиясына қарсы тұра алады. Оның қышқылға төзімділігі керамикадан 30 есе, тот баспайтын болаттан 150 есе артық. Әсіресе оның жоғары температурадағы химиялық тұрақтылығы кез келген басқа инженерлік материалдармен салыстыруға келмейді.

3. Жақсы термиялық тұрақтылық. Жоғары тазалықтағы кварцтың термиялық кеңею коэффициенті өте аз және температураның күрт өзгеруіне төтеп бере алады. Тазалығы жоғары кварцты шамамен 1100°C дейін қыздырғанда, бөлме температурасындағы суға салғанда ол жарылып кетпейді.

4. Жақсы жарық өткізгіштік. Жоғары тазалықтағы кварц ультракүлгіннен инфрақызылға дейінгі барлық спектрде жақсы жарық өткізгіштікке ие және көрінетін жарық өткізгіштігі 93% -дан жоғары, әсіресе ультракүлгін спектр аймағында максималды өткізгіштік 80% -дан астамға жетуі мүмкін.

5. Жақсы электр оқшаулау көрсеткіштері. Тазалығы жоғары кварцтың қарсылық мәні кәдімгі кварц шынысынан 10 000 есе көп. Бұл тамаша электр оқшаулағыш материал және тіпті жоғары температурада жақсы электрлік қасиеттерге ие.

Осы тамаша физикалық және химиялық қасиеттерінің арқасында жоғары таза кварц материалдары қазіргі заманғы электронды технологияда, жартылай өткізгіштерде, байланыста, электр жарық көздерінде, күн энергиясында, жоғары дәлдіктегі ұлттық қорғаныс өлшеу құралдарында, зертханалық физикалық-химиялық аспаптарда, атом энергетикасында, нано-өнеркәсіп және т.б. Атап айтқанда, қарқынды дамып келе жатқан жартылай өткізгіш өнеркәсібінде кремний пластиналар ауқымы ұлғайып келеді, сондықтан чип өндірушілер әртүрлі кварц компоненттеріне үлкен сұранысқа ие. Дегенмен, өңдеу процесінде ластануды болдырмау үшін пайдалану кезінде кварц материалының жоғары тазалығын қамтамасыз ету керек екенін де атап өткен жөн.

Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде,кварцкеңінен қолданылады, ал жоғары тазалықтағы кварц өнімдері вафли өндірісінде маңызды шығын материалдары болып табылады. Кремний монокристалдарын алу үшін қолданылатын тигельдер, кристалды қайықтар және диффузиялық пештің өзек түтіктері сияқты кварц бөліктері жоғары тазалықтағы кварц шыны өнімдерін пайдалануы керек. Жартылай өткізгіштер саласындағы кварц бөлшектерін нарықтағы негізгі мақсатты қолдану - бұл вафельді құю өндірісіндегі диффузия және өңдеу процесі. Оларды екі санатқа бөлуге болады: жоғары температуралық аймақ құрылғылары және төмен температуралық аймақ құрылғылары. Қолданылатын негізгі құрылғылар мыналар:

1. Жоғары температура аймағының құрылғылары негізінен диффузиялық тотығуда және басқа буындарда қолданылатын пеш түтіктері, шыны қайықтар және т.б., олар жоғары температуралы ортада кремний пластиналарымен тікелей немесе жанама байланыста болуы керек; олар негізінен балқытылған кварц шыны материалдарын сатып алады және термиялық өңдеу арқылы өндіріледі;

2. Төмен температуралы аймақ құрылғыларына негізінен оюлау процесінде қолданылатын кварц сақиналары, сондай-ақ тазалау процесінде қолданылатын гүл себеттер мен тазалау цистерналары жатады. Олар негізінен төмен температуралы орталарда қолданылады. Олар негізінен газбен тазартылған кварц шыныны сатып алады және суық өңдеу арқылы өндіріледі.

Semicorex жоғары сапаны ұсынадыкварц бөліктеріжартылай өткізгіш деңгейде. Егер сізде қандай да бір сұрақтар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com