Жартылай өткізгішті кремний монокристалдарының жылу өрісінде қаптау

Жартылай өткізгіш кремнийдің бір кристалды ыстық өрісіндегі қапталған бөліктер әдетте CVD әдісімен, соның ішінде пиролитикалық көміртекті жабындымен,Кремний карбиді жабыныжәнеТантал карбиді жабыны, әрқайсысы әртүрлі сипаттамаларға ие.

Ортақ нүктелер: субстрат жоғары таза изостатикалық графит, әдетте 5 ppm күлден аз; жабын CVD әдісі қолданылады; жабын негізінен 100% көміртек немесе кремний карбиді; жабудан кейін беті салыстырмалы түрде тығыз, газ, әсіресе пеш кремний буы немесе кремний оксиді газы негізінен бұғатталуы мүмкін; өзінің шаңды ұшқыштығы да өте аз.

Айырмашылықтар: жабынның стандартты қалыңдығы, пиролитикалық көміртекті жабын әдетте шамамен 40um; Кремний карбиді жабыны әдетте шамамен 100um жасалады, бірақ тұтынушылардың әртүрлі қажеттіліктеріне сәйкес 30um ~ 150um, соның ішінде бір жабын және екі жабын жасалуы мүмкін; тантал карбиді жабыны әдетте 35±15um құрайды.

Пиролиттік көміртекті жабын, оның тығыздығы кеуекті емес графитке тең, ол шамамен 2,2. Ол беттің параллель бағыты бойынша төмен меншікті кедергіге және жоғары жылу өткізгіштікке ие, сондықтан ол бет температурасының консистенциясын сақтай алады, сонымен қатар оның жылу кеңею коэффициенті төмен және серпімділік модулі жоғары. Бетінің перпендикуляр бағытында жылу кеңею коэффициенті үлкенірек, ал жылу өткізгіштік төмен.

Кремний карбидімен қапталған өнімдер үшін жабынның серпімділік модулі өте жоғары, ішкі графиттік негіздің серпімділік модулінен ондаған есе жоғары, сондықтан өнімнің жарылуын болдырмау үшін оны абайлап өңдеу керек.

Пиролиттік көміртекті жабын және кремний карбиді жабыны барлық қоспалардың мазмұны 5 ppm-ден аз, мұнда негізгі металл элементінің мазмұны 0,1 немесе 0,01 ppm-ден аз болса, бор элементімен күресу қиынырақ 0,01 немесе 0,15 ppm.

Semicorex теңшелген қызметі бар жартылай өткізгіштерге арналған жоғары сапалы CVD жабын өнімін ұсынады. Егер сізде қандай да бір сұрақтарыңыз болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com