SiC эпитаксисі

Эпитаксияның екі түрі бар: біртекті және гетерогенді. Әртүрлі қолданбаларға арналған ерекше кедергісі және басқа параметрлері бар SiC құрылғыларын шығару үшін, өндіріс басталар алдында субстрат эпитаксистік шарттарға сәйкес келуі керек. Эпитаксияның сапасы құрылғының жұмысына әсер етеді.

Қазіргі уақытта екі негізгі эпитаксистік әдіс бар. Біріншісі – біртекті эпитаксия, мұнда SiC пленкасы өткізгіш SiC субстратында өсіріледі. Бұл ең алдымен MOSFET, IGBT және басқа жоғары вольтты жартылай өткізгіш өрістер үшін қолданылады. Екіншісі – гетероэпитаксиалды өсу, мұнда GaN пленкасы жартылай оқшаулағыш SiC субстратында өсіріледі. Бұл GaN HEMT және басқа төмен және орташа вольтты қуатты жартылай өткізгіштер, сондай-ақ радиожиілік және оптоэлектрондық құрылғылар үшін қолданылады.

Эпитаксиялық процестерге сублимация немесе будың физикалық тасымалдануы (PVT), молекулалық сәуле эпитаксисі (MBE), сұйық фаза эпитаксисі (LPE) және химиялық бу фазасының эпитаксисі (CVD) жатады. SiC біртекті эпитаксиалды өндірудің негізгі әдісі тасымалдаушы газ ретінде H2 пайдаланады, Si және C көзі ретінде силан (SiH4) және пропан (C3H8). SiC молекулалары тұндыру камерасында химиялық реакция арқылы өндіріледі және SiC субстратында тұндырылады. .

SiC эпитаксисінің негізгі параметрлері қалыңдығы мен легирлеу концентрациясының біркелкілігін қамтиды. Төменгі ағындағы құрылғыны қолдану сценарийінің кернеуі жоғарылаған сайын эпитаксиалды қабаттың қалыңдығы бірте-бірте артады және легирлеу концентрациясы төмендейді.

SiC сыйымдылығын құрудағы шектеу факторларының бірі эпитаксиалды жабдық болып табылады. Қазіргі уақытта эпитаксиалды өсу жабдығы Италияның LPE, Германияның AIXTRON және Жапонияның Nuflare және TEL компанияларының монополиясында. SiC жоғары температуралы эпитаксиалды жабдықты жеткізудің негізгі циклі шамамен 1,5-2 жылға дейін ұзартылды.

Semicorex компаниясы LPE, Aixtron және т.б. сияқты жартылай өткізгіш жабдықтарға арналған SiC бөлшектерін қамтамасыз етеді. Егер сізде қандай да бір сұраулар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com