Құрғақ ішудегі негізгі параметрлер

Жүктеу эффектісі феноменге жатады, бұл тариф сызықсыз өзгереді, мысалы, айнымалылармен сызықтық өзгермейді, мысалы, айнымалылармен, мысалы, өрнектермен және көлеңкелі үлгіні сызыңыз. Басқаша айтқанда, әр түрлі аудандар немесе линзалар бағамы немесе морфологиядағы айырмашылықтарға әкеледі.

1.ETET REDE

Айтылу деңгейі бірлікке арналған материалдың қалыңдығына жатады (бірлік: бірлік: NM / MIN немесе мкм / мин). Оның мәні тиімділікті тікелей әсер етеді, ал төмендететін мөлшерлеме өндірістік циклды ұзартады. Айта кету керек, жабдықтың параметрлері, материалдық қасиеттері және этчинг ауданы барлық әсер ету жылдамдығына әсер етеді.

2. 2.Секелек

Субстрат селективтілігі және маска селективтілігі - бұл құрғақ таңдаудың екі түрі. Ең дұрысы, жоғары маска селективтілігі және төмен субстрат селективтілігі бар газды таңдау керек, бірақ іс жүзінде таңдау материалдық қасиеттерді қарастыру арқылы таңдау керек.

3.Мыңдануы

Вафлидің біркелкілігі - жартылай өткізгіш құрылғылардағы өлшемді ауытқуларға әкелетін әр түрлі жерлердегі мөлшерлеме бойынша ставкалар. Вафли-вафли біркелкі болған кезде, әр түрлі вафлидің арасындағы мөлшерлеменің сәйкестігін білдіреді, бұл партиялық дәлдіктің өзгеруіне әкелуі мүмкін.

4. Сәйкесінше

Сыни өлшем сызық ені, траншея ені және тесік диаметрі сияқты микроқұрылымдардың геометриялық параметрлеріне қатысты.

5.Естың арақатынасы

Атауы көрсетілгендей, кадр пішімі, өйткені тереңдіктің диафрагмаға қатынасы. Көріп отырмақтың арақатынасы 3D құрылғыларының негізгі талабы болып табылады, ал төменгі деңгейдің нашарлауына жол бермеу үшін 3D құрылғыларының негізгі қажеттілігі және газ коэффициенті және қуатты басқару арқылы оңтайландыру керек.

6.Жоқтау

Кейінгі, асты сызу, асты және бүйірлік мөлшерлеу, өлшемді дәлдікті төмендетуі мүмкін (мысалы, электродтың аралық ауытқуы, асқынулар арқалықтарын тарылту).

Анықтама әсері

Жүктеу эффектісі феноменге жатады, бұл тариф сызықсыз өзгереді, мысалы, айнымалылармен сызықтық өзгермейді, мысалы, айнымалылармен, мысалы, өрнектермен және көлеңкелі үлгіні сызыңыз. Басқаша айтқанда, әр түрлі аудандар немесе линзалар бағамы немесе морфологиядағы айырмашылықтарға әкеледі.

Subicorex мамандандырыңызSic жабылдыжінеTAC қапталғанЖартылай өткізгішті өндірістегі процестерде қолданылған графитті ерітінділер, егер сізде қандай-да бір сұраулар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысқа түсуден тартынбаңыз.

Байланыс телефоны: + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com