Неліктен бүйірлер құрғақ ішу кезінде бүгілген

Құрғақ майлау, әдетте, физикалық және химиялық әрекеттерді біріктіреді, бұл физикалық және химиялық әрекеттерді, ион бомбалауымен, шешуші физикалық өлшеу техникасы болып табылады. Иондардағы оқиғалар мен энергияны беру кезінде иондардың бұрышы мен таралуы біркелкі болуы мүмкін.

Егер ион инциденттер бұрышы бүйірліктердегі әр түрлі Locat иондарында өзгерсе, онда эффект сонымен қатар ерекшеленеді. Үлкен иондық инциденттері бар жерлерде, бүйірлерге ионын ионы күшейтетін ион күшті, бұл аймақта көбірек созылады және бүйірлік бүйірлік иілу тудырады. Сонымен қатар, иондық энергияны біркелкі бөлу де ұқсас әсер етеді; Жоғары энергия иондары материалды тиімді түрде алып тастайды, нәтижесінде бүйірлердегі әр түрлі жерлерде әр түрлі жерлерде сәйкес келмейді, содан кейін бүйірлік иілу тудырады.

Фоторезистерді құрғақ ішуге, қорғаудың қажеті жоқ жерлерде маска ретінде әрекет етеді. Алайда, фоторезистке плазмалық бомбалаушылық пен химиялық реакциялар әсер етеді және оның қасиеттері өзгеруі мүмкін.

Фоторестің біркелкі емес, қалыңдығы, фоторезист кезінде немесе фоторезист пен субстрат арасындағы әр түрлі жерлердегі субстрат, әр түрлі жерлерде қосылу кезіндегі өзгерістер. Мысалы, жұқа немесе әлсіз фоторесистік железі бар жерлер негізгі материалға оңай түсуге мүмкіндік береді, бұл жерлерде бүйірлік бүйірлік бүйірлермен иілуге ​​әкелуі мүмкін.

Материалдық сипаттамалары Айырмашылықтар

Мүмкін болатын субстрат материалы әртүрлі аймақтардағы әр түрлі кристалды бағдарлар мен допинг концентрациясы сияқты сипаттамалардағы айырмашылықтарды көрсете алады. Бұл айырмашылықтар тарифтер мен селективтілікке әсер етеді.

Кристалды кремний алу Мысал ретінде, кремний атомдарының орналасуы кристалды бағдарлармен ерекшеленеді, нәтижесінде газ бензиндермен реактивтіліктің өзгеруіне әкеледі. Материалдық қасиеттердегі бұл айырмашылықтар бүйірлердегі әртүрлі жерлерде тереңдікке сәйкес келмейтін, сайып келгенде, бүйірлік иілуді тудырады.

Жабдықтарға қатысты факторлар

Жабдықтың өнімділігі мен жағдайы сонымен қатар нәтижелерге айтарлықтай әсер етеді. Мысалы, реакция камерасында және біркелкі емес электродтық тозу кезінде плазмалық плазманың таралуы, егер электродтың біркелкі еместігі, мысалы, иондық тығыздығы мен энергиясы, мысалы, ион тығыздығы мен энергиясы, мысалы, ион тығыздығы мен энергиясы вафли бетіне әсер етуі мүмкін.

Сонымен қатар, температураны біркелкі емес басқару және газ ағынының аз ауытқуы біркелкілікке, одан әрі бүйірлік иілуге ​​ықпал етуге әсер етуі мүмкін.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыCVD SIC компоненттеріИшу үшін. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com