Құрғақ кремний компоненттері

, соның ішінде кремний шығарғыш сақинасы, кремнийдің сыртқы сақинасы, кремний душ ете ме, кремний фокус сақинасы және кремний қалқан сақинасы.

Құрғақ креативті реакция процесс камерасында жүреді, ол ең алдымен құрамына кіредікремний компоненттері, соның ішінде кремний шығарғыш сақинасы, кремнийдің сыртқы сақинасы, кремний душ ете ме, кремний фокус сақинасы және кремний қалқан сақинасы.

Құрғақ мөлшерде кремді вафли әдетте кремнийдің фокустық сақинасына орналастырылады. Бұл комбинациясы электрод ретінде қызмет етеді, алайда, иелену камерасының астында орналасқан. Камераның үстінде орналасқан саңылаулары тығыз салынған кремний дискісі теріс электрод ретінде қызмет етеді. Силиконның сыртқы сақинасы жоғарғы электродты және басқа да байланысты компоненттерді қолдайды. Жоғарғы және төменгі электродтар плазмамен тікелей байланыста. Плазма кремний вафлиді қолданған сайын, ол жоғарғы және төменгі кремний электродтарын да киеді. Төменгі электрод (фокустау сақинасы) біртіндеп, жуу процесі кезінде, қалыңдығы белгілі бір деңгейге жеткенде ауыстыруды қажет етеді. Сонымен қатар, жоғарғы электродтағы (душ басындағы) біркелкі таратылған тесіктер плазмамен корродаланады, бұл тесіктердің өзгеруіне әкеледі. Бұл өзгерістер белгілі бір деңгейге жеткенде, оларды ауыстыру керек. Әдетте, ауыстыру циклы 2-4 апта сайын қажет.

Мысал ретінде вафлидің айналасына фокустық сақинаны алу, ал кварцтың жоғары тазалығы төмен, бұл аз металдан ластану үшін оңтайлы, ол фторид газ плазмасында тез коррозияға ұшырайды, нәтижесінде қысқа мерзімге әкеледі. Бұл шығындарды көбейтіп қана қоймайды, сонымен қатар жабдықтардың жұмыс уақытын қысқартуға байланысты тоқтап қалуды қажет етеді. Керамика, ұзақ өмір сүру ұзақтығы бар, сонымен бірге жоғары энергия ионымен бомбалауға ұшырайды. Шұшылған алюминий плазмадағы фтормен, құбылмалы фторидтерді (мысалы, алюминий фторид) түзеді. Егер оларды жою мүмкін болмаса және вафли жиегінде құрылғы бетіне немесе фоторезге сақталмаса, олар өнімнің шығымдылығына әсер ететін құрылған фторидтер мен фоторезді кейіннен алып тастауға кедергі келтіреді. Толығырақ материалдар - бұл бір кристалды кремний немесе кремний карбиді. Алайда, бір кристалды кремний арзан, бірақ қысқа мерзімге ие, ал кремний карбиді қымбатырақ, бірақ біршама ұзағырақ өмір сүреді. Осы екі нұсқа арасындағы сауда нақты жағдайларға байланысты. Мысалы, егер жабдықты пайдалану жоғары және жұмыс уақыты өте маңызды болса, кремний карбидін қолдану керек. Егер компоненттің тозуы мен жыртылу шығындары тым жоғары болмаса, бір кристалды кристалды кремнийді қолдану керек.

Вафельдің кедергісі плазмалық қабықтың қалыңдығына әсер етеді (кедергіден төмен, қабақтың қалыңдығы). Вафлидің орталығындағы кедергілер солдан өзгеше, шетінде, нәтижесінде плазмалық қабықтың қалыңдығынан тұрады. Бұл біркелкі емес плазмалық қабық иондарды тездетеді, сонымен қатар ион бомбалау нүктесін де, дәл келтіреді, дәлдікті төмендетеді. Сондықтан, қабықша қабықтың қалыңдығын бақылау үшін фокустау сақинасы қажет, осылайша ион бомбалау бағытын оңтайландырады және дәлдікті жақсартады.

Мысал ретінде вафлидің айналасына фокустық сақинаны алу, ал кварцтың жоғары тазалығы төмен, бұл аз металдан ластану үшін оңтайлы, ол фторид газ плазмасында тез коррозияға ұшырайды, нәтижесінде қысқа мерзімге әкеледі. Бұл шығындарды көбейтіп қана қоймайды, сонымен қатар жабдықтардың жұмыс уақытын қысқартуға байланысты тоқтап қалуды қажет етеді. Керамика, ұзақ өмір сүру ұзақтығы бар, сонымен бірге жоғары энергия ионымен бомбалауға ұшырайды. Шұшылған алюминий плазмадағы фтормен, құбылмалы фторидтерді (мысалы, алюминий фторид) түзеді. Егер оларды жою мүмкін болмаса және вафли жиегінде құрылғы бетіне немесе фоторезге сақталмаса, олар өнімнің шығымдылығына әсер ететін құрылған фторидтер мен фоторезді кейіннен алып тастауға кедергі келтіреді. Толығырақ материалдар - бұл бір кристалды кремний немесе кремний карбиді. Алайда, бір кристалды кремний арзан, бірақ қысқа мерзімге ие, ал кремний карбиді қымбатырақ, бірақ біршама ұзағырақ өмір сүреді. Осы екі нұсқа арасындағы сауда нақты жағдайларға байланысты. Мысалы, егер жабдықты пайдалану жоғары және жұмыс уақыты өте маңызды болса, кремний карбидін қолдану керек. Егер компоненттің тозуы мен жыртылу шығындары тым жоғары болмаса, бір кристалды кристалды кремнийді қолдану керек.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыКремний бөлшектері. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com