Жартылай өткізгіштегі керамикалық компоненттер

Дәлдік керамикаБөліктер, мысалы, популярлану, ионмен, жұқа пленкалар, жұқа пленкалар, жіңішке және жұқа пленкалар, CMP, CMP және т.б., мысалы, подшипниктер, лизинг, электр тізбегі, қару-жарақ және т.б., мысалы, жабдық қуысының ішіндегі негізгі компоненттері.

Жоғары литография машиналарында, жоғары технологиялық дәлдікке қол жеткізу үшін керамикалық компоненттерді жақсы функционалды күрделілігі, құрылымдық тұрақтылық, жылу тұрақтылығы және өлшемді дәлдікпен кеңінен қолдану қажет.Электростатикалық Чак, Вакуум-Чак, Блок, магниттік болат қаңқа суды салқындату табақшасы, айна, бағыттаушы рельс, жұмыс тетігі, маска кестесі, маска кестесі және т.б.

1. Электростатикалық Чак

Электростатикалық Чак - бұл кеңінен қолданылатын кремний вафлиді қысқыш және беріліс құралы жартылай өткізгіш компоненттерді өндіруге арналған құрал. Ол плазмалық және вакуумдық жартылай өткізгіш процестерде кеңінен қолданылады, мысалы, химиялық бумен тұндыру және ион имплантациясы сияқты. Негізгі керамикалық материалдар - алюминий керамикасы және кремний нитридті керамика. Өндірістік қиындықтар - күрделі құрылымдық дизайн, шикізатты таңдау және біріктіру, температураны бақылау және жоғары дәлдікті өңдеу технологиясы.

2. Мобильді платформа

Литография машинасының мобильді платформасының материалдық жүйесінің дизайны - бұл литография машинасының жоғары дәлдігі мен жоғары жылдамдығының кілті. Сканерлеу процесінде жоғары жылдамдықты қозғалысқа байланысты мобильді платформаның деформациясына тиімсіз, платформаның материалына жоғары жылу кеңею материалдарын қамтуы керек, бұл жоғары жылу кеңею материалдарын қамтуы керек, яғни жоғары технологиялық, яғни мұндай материалдар жоғары модул болуы керек және тығыздығы төмен. Сонымен қатар, материал сонымен қатар жоғарыға нақты қаттылық қажет, бұл бүкіл платформаға жоғары үдеу мен жылдамдықпен бірдей бұрмалану деңгейін ұстап тұруға мүмкіндік береді. Бекіткіштерді бұрмаламай маскаларды жоғары жылдамдықпен ауыстыру арқылы өткізу қабілеті жоғарылайды, ал жоғары дәлдікті қамтамасыз ету кезінде жұмыс тиімділігі жақсарады.

Чип схемасын маскадан вафлиге ауыстыру үшін, алдын-ала анықталған чип функциясына қол жеткізу үшін, бұл маңызды бөлігі болып табылады. Керамикалық материалдардан жасалған компоненттер негізінен камераны, терезе айнасын, газды дисперсия табақ, саптама, саптама, оқшаулау сақинасы, сақиналы және электростатикалық Чактар кіреді.

3. Палата

Жартылай өткізгіш құрылғылардың ең аз мөлшері қысқартуды жалғастыруда, вафли ақауларына қойылатын талаптар қатаң болды. Металл қоспалар мен бөлшектердің ластануын болдырмас үшін, үрмелі жабдық қуыстарының және қуыстардағы компоненттердің материалдарына қатаң талаптар қойылды. Қазіргі уақытта керамикалық материалдар машина қуыстарын алудың негізгі материалдарына айналды.

Материалдық талаптар (1) Жоғары тазалық және төмен металл қоспасы; (2) негізгі компоненттердің тұрақты химиялық қасиеттері, әсіресе галогендік коррозиялық газдармен химиялық реакция жылдамдығы төмен; (3) жоғары тығыздық және бірнеше ашық тері тесігі; (4) ұсақ түйіршіктер және астық шекарасы төмен фазалық мөлшер; (5) үздік механикалық қасиеттер және оңай өндіріс және өңдеу; (6) Кейбір құрамдас бөліктердің жақсы диэлектрлік қасиеттері, электр өткізгіштік немесе жылу өткізгіштік сияқты басқа да талаптарға ие болуы мүмкін.

4. Душ

Оның беті жүздеген нейрондық желі сияқты, дәл тоқылған нейрондық желісі сияқты, жүздеген немесе мыңдаған ұсақ-түйектермен тығыз таратылады, бұл вафлидің әр дюймдік өңдеудің әр дюймдік қайта өңделуіне, өндіріс тиімділігіне және өнімнің сапасын жақсартуға мүмкіндік береді.

Техникалық қиындықтар Техникалық және коррозияға төзімділігі үшін өте жоғары талаптарға қосымша, газ тарату тақтайшасы газ тарату тақтайшасындағы кішкене тесіктердің саңылауына және кішкентай тесіктердің ішкі қабырғасындағы тесіктердің сәйкестігіне қатаң талаптарға ие. Егер саңылау мөлшері толеранттылық пен сәйкестік стандартының ауытқуы тым үлкен болса немесе кез-келген ішкі қабырғаға бұралса, жиналған пленкалық қабаттың қалыңдығы әр түрлі болады, бұл жабдық технологиялық өніміне тікелей әсер етеді.

5. Фокус сақинасы

Фокустық сақинаның функциясы - теңдестірілген плазманы қамтамасыз ету, бұл кремний вафлиіне ұқсас өткізгіштікті қажет етеді. Бұрын қолданылған материал негізінен өткізгіш кремний болды, бірақ құрамында фторлы плазма, бірақ фторлы плазмалар, бірақ құбылмалы кремний фторын қалыптастыру үшін кремниймен реакция жасайды, бұл оның қызмет ету мерзімін қысқартады, нәтижесінде компоненттерді ауыстыру мен өндіріс тиімділігінің артуына әкеледі. SIC-те бір кристаллдық Si-ге ұқсас өткізгіштік бар және плазмалық плазмаға жақсы қарсылық бар, сондықтан оны сақиналарға назар аудару үшін қолдануға болады.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыкерамикалық бөліктержартылай өткізгіш өнеркәсіпте. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com