Жартылай өткізгіш душ қабылдайтындар

Тагаз тарату тақтасы, көбінесе «душ қабылдағыңыз» деп аталады, бірақ оның бағасы дәстүрлі душқа ұқсауы мүмкін, бірақ оның бағасы жүздеген мыңға жетуі мүмкін, бұл ванна бөлмесінің әдеттегі душынан едәуір жоғары.

Газ таратушы тақтайының беті жүздеген немесе тіпті мыңдаған ұсақ, дәл орналастырылған, дәл тоқылған саңылаулар, майдалап тұрған нейрондық желіге ұқсайды. Бұл дизайн газдың ағынын және инъекциялық бұрыштарды дәл басқаруға мүмкіндік береді, вафлидің әр бөлігінің әр бөлігінің технологиялық газында біркелкі «жуылған» болып табылады. Бұл тек өндіріс тиімділігін арттырмайды, сонымен қатар өнім сапасын жақсартады.

Газ тарату тақтасы тазалау, игеру және орналастыру сияқты негізгі процестерге арналған. Ол жартылай өткізгіш процестердің дұрыстығына және қорытынды өнімдердің сапасына тікелей әсер етеді, оны әртүрлі газ тарату қосымшаларында сыни компонент жасайды.

Вафли реакция процесінде, бетідушМикропорлармен тығыз жабылған (диафрагма 0,2-6 мм). Дәл жобаланған құрылым және газ жолы арқылы арнайы технологиялық газ біркелкі газ плитасында мыңдаған кішкене тесіктерден өтіп, содан кейін біркелкі вафли бетіне сақталуы керек. Вафлидің әр түрлі аудандарындағы кино қабаты жоғары біркелкілік пен дәйектілікті қамтамасыз етуі керек. Сондықтан, тазалық пен коррозияға төзімділігі үшін өте жоғары талаптарға қосымша, газ тарату тақтайшасы газ тарату тақтайшасындағы кішкене тесіктердің саңылауына және кішкене тесіктердің ішкі қабырғаларындағы тесіктердің сәйкестігіне қатаң талаптарға ие. Егер диафрагма бойынша төзімділік пен сәйкестікке сәйкестігі тым үлкен болса немесе кез-келген ішкі қабырғаға бұрылса, жиналған пленкалық қабаттың қалыңдығы әр түрлі болады, бұл жабдықтың технологиялық шығымдылығына тікелей әсер етеді.

Газ тарату тақтасының материалы кейде сынғыш материал (мысалы, кристалды кристалды кристалды кремний, кварц әйнегі, керамика), бұл сыртқы күштердің әсерінен арылуға болады. Бұл сонымен қатар микроэлементтің диаметрі 50 есе көп, ал кесу жағдайын тікелей байқалмайды. Сонымен қатар, кесуге арналған жылу беру оңай емес, чипті алып тастау қиын, ал бұрғылау биті чип бітелуіне байланысты оңай бұзылады. Сондықтан оны өңдеу және дайындау өте қиын.

Сонымен қатар, плазмалық көмекші процестерде (мысалы, Pecvd және құрғақ), душ басын электродтың бөлігі ретінде, сонымен қатар, плазманың біркелкі таралуына ықпал ету үшін RF электрмен жабдықтау арқылы бірыңғай электр өрісін құру қажет, осылайша иелену немесе тұндырудың біркелкілігін арттырады.

Жартылай өткізгіштерде қолданылатын газдар жоғары температура, жоғары қысымды немесе коррозиялық болуы мүмкін, өйткені душ қабылдағыш коррозияға төзімді материалдардан тұрады. Нақты өндірісте әр түрлі пайдалану сценарийлеріне және нақты қажетті дәлдікке байланысты газ тарату тақтасына оның материалдық құрамы бойынша келесі екі санатқа бөлуге болады:

(1) Металл газды тарату тақтасы

Металл газ тарату плиталарының материалдарына алюминий қорытпасы, тот баспайтын болат және никель металл кіреді, олардың ішінде металл газды тарату тақтайшасының ең көп қолданылатын материалдары, алюминий қорытпасы, өйткені ол жылу өткізгіштік пен қатты коррозияға қарсы тұрақтылыққа ие. Ол кеңінен қол жетімді және оңай.

(2) Металл емес газды тарату тақтасы

Металл емес газ тарату плиталарының материалдарына бір кристалды кристалды кремний, кварц әйнегі және керамикалық материалдар кіреді. Олардың ішінде жиі қолданылатын керамикалық материалдар - CVD-SIC, алюминий керамикасы, кремний нитридті керамика және т.б.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыCVD душарларыжартылай өткізгіш өнеркәсіпте. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com