Кремний карбидті вафельді қайық

Жартылай өткізгішті өндірісте тотығу пластинаны жоғары температуралы ортаға орналастыруды қамтиды, онда оксид қабатын қалыптастыру үшін вафли беті бойынша оттегі ағады. Бұл пластинаны химиялық қоспалардан қорғайды, ағып кету тогының схемаға енуіне жол бермейді, ионды имплантациялау кезінде диффузияны болдырмайды және вафли бетінде қорғаныш пленка түзе отырып, ою кезінде пластинаның сырғып кетуіне жол бермейді. Бұл қадамда қолданылатын жабдық тотығу пеші болып табылады. Реакция камерасының негізгі құрамдас бөліктеріне вафельді қайық, негіз, пеш төсеу түтіктері, пештің ішкі түтіктері және жылу оқшаулағыш қалқаншалары кіреді. Жұмыс температурасының жоғары болуына байланысты реакция камерасындағы компоненттерге қойылатын өнімділік талаптары да жоғары.

Theвафельді қайықвафельді тасымалдау және өңдеу үшін тасымалдаушы ретінде пайдаланылады. Ол жоғары интеграция, жоғары сенімділік, антистатикалық қасиеттер, жоғары температураға төзімділік, тозуға төзімділік, деформацияға төзімділік, жақсы тұрақтылық және ұзақ қызмет ету мерзімі сияқты артықшылықтарға ие болуы керек. Вафельді тотығу температурасы шамамен 800℃ және 1300℃ аралығында болғандықтан және қоршаған ортадағы металл қоспаларының құрамына қойылатын талаптар өте қатаң болғандықтан, вафельді қайық сияқты негізгі компоненттер тамаша термиялық, механикалық және химиялық қасиеттерге ие болып қана қоймай, сонымен қатар өте төмен металдық қоспаларға ие болуы керек. Субстрат негізінде оларды кварц пластинкаларына, кремний карбидті керамикалық вафлиді қайықтарға және т.б. бөлуге болады. Дегенмен, технологиялық түйіндердің 7 нм-ден төмен ілгерілеуімен және жоғары температуралық технологиялық терезелердің кеңеюімен дәстүрлі кварцтық қайықтар бірте-бірте жылулық бақылау, бөлшектердің тұрақтылығы және қызмет ету мерзімі тұрғысынан жеткіліксіз болып келеді. Кремний карбиді (SiC) қайықтар біртіндеп дәстүрлі кварц ерітінділерін ауыстырады.

1. Жартылай өткізгіштерді өндіру

Тотығу, диффузия, химиялық буларды тұндыру (CVD) және ионды имплантациялау сияқты чиптерді өндірудің жоғары температуралық процестерінде SiC қайықтары кремний пластинкаларын қолдау үшін пайдаланылады, бұл пластиналар жоғары температурада тегіс болып қалуын қамтамасыз етеді және термиялық кернеуден туындаған тордың сәйкес келмеуін немесе деформациясын болдырмайды, осылайша чиптің өнімділігіне кепілдік береді.

2. Фотоэлектрлік өнеркәсіп

Кремний карбидті керамика тамаша механикалық беріктікке, термиялық тұрақтылыққа, жоғары температураға төзімділікке, тотығуға төзімділікке, термиялық соққыға төзімділікке және химиялық коррозияға төзімділікке ие және металлургия, машина жасау, жаңа энергетика және құрылыс материалдарының химиясы сияқты танымал салаларда кеңінен қолданылады. Оның өнімділігі сонымен қатар TOPcon жасушалары үшін диффузия, LPCVD (төмен қысымды химиялық будың тұндыру) және PECVD (плазмалық химиялық будың тұндыру) сияқты фотоэлектрлік өндірістегі жылу процестері үшін жеткілікті. Дәстүрлі кварц материалдарымен салыстырғанда, қайық тіректерін, шағын қайықтарды және құбырлы бұйымдарды жасау үшін қолданылатын кремний карбиді керамикалық материалдар жоғары беріктік, жақсы термиялық тұрақтылық және жоғары температура кезінде деформация болмайды. Сондай-ақ олардың қызмет ету мерзімі кварцқа қарағанда бес еседен асады, бұл операциялық шығындар мен техникалық қызмет көрсетудің тоқтап қалуынан болатын энергия шығындарын айтарлықтай азайтады. Бұл нақты шығындардың артықшылығына әкеледі және шикізат кеңінен қол жетімді.

3. Үшінші буын жартылай өткізгіштер өнеркәсібі

Металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) реакция камераларында кремний карбидті қайықтар аммиак (NH3) сияқты коррозиялық газ орталарына төтеп беретін, галий нитриді (GaN) сияқты үшінші буындағы жартылай өткізгіш материалдардың эпитаксиалды өсуін қолдайтын, сапфир субстраттарын қолдау үшін пайдаланылады және жарықдиодты чиптердің тиімділігін арттырады. Кремний карбидінің монокристалды өсіндісінде кремний карбидінің қайықтары кремний карбиді монокристалды өсіретін пештерде балқытылған кремнийдің жоғары температуралық коррозиялық ортасына төтеп бере отырып, кремний карбидінің монокристалдарының өсуіне тұрақты қолдауды қамтамасыз ететін және жоғары сапалы бір кристалды кремний-карбидтердің дайындалуына ықпал ететін тұқымдық кристалды тіректер ретінде қызмет етеді.

Semicorex жоғары сапалы SiC керамикасын жеткізедівафельді қайықтар. Біздің өнімдер жоғары термиялық тұрақтылықты, ұзартылған қызмет мерзімін және ерекше процестің үйлесімділігін қамтамасыз ету үшін жасалған. Теңшелген шешімдер немесе қосымша техникалық ақпарат алу үшін біздің инженерлік топқа хабарласыңыз.

Телефон: +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com