Жоғары таза кварц: жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін таптырмас материал

Жоғары тазалықтағы кварц керемет физикалық және химиялық қасиеттерге ие. Оның тән кристалдық құрылымы, пішіні және тордың вариациялары жоғары температураға төзімділік, коррозияға төзімділік, тозуға төзімділік, төмен жылу кеңею коэффициенті, жоғары оқшаулау, пьезоэлектрлік әсерлер, резонанстық әсерлер және бірегей оптикалық қасиеттер сияқты ерекше сипаттамаларға ықпал етеді. Бұл атрибуттар оны стратегиялық және тірек салаларын дамыту үшін таптырмайтын іргетас материалына айналдырады.

Жоғары тазалықтағы кварцты қолдану жартылай өткізгіштерді, фотоэлектриктерді, оптикалық талшықтарды және электр жарық көздерін қоса алғанда, әртүрлі өрістерді қамтиды. Олардың ішінде жартылай өткізгіштер өнеркәсібі ең үлкен үлесті иеленеді, оны пайдаланудың айтарлықтай 50% құрайды.

Жартылай өткізгіштер өндірісінің негізінде өнеркәсіптегі ең жоғары қосылған құн сегментін білдіретін чип өндірісі жатыр. Чип өндірісі негізінен төрт кезеңнен тұрады: монокристалды өсіру, пластинаны өңдеу және дайындау, интегралды схемаларды (IC) өндіру және орау. Ең маңызды, күрделі және талап етілетін кезеңдері, әсіресе материал талаптары тұрғысынан, кремний пластинасын өндіру және пластинаны өңдеу.

Жоғары тазалықтағы кварц материалдары ерекше термиялық тұрақтылығымен, қышқылға төзімділігімен, төмен термиялық кеңеюімен және тамаша спектрлік өткізгіштігімен жартылай өткізгіш өнеркәсібінің тасымалдаушы материалдардағы сілтілі металға және ауыр металдарға қатысты қатаң талаптарын тамаша орындайды. Өндіріс процесі вафлилерді, сақиналарды, пластиналарды, фланецтерді, ойылған қайықтарды, диффузиялық пеш түтіктерін және тазалау цистерналарын қоса алғанда, жоғары сапалы кварц компоненттерінің айтарлықтай көлемін қажет етеді.

Жартылай өткізгішті дайындаудың әртүрлі кезеңдерінде қолданылатын жоғары таза кварц

Кремний вафли өндірісінде қолдану

Кварц шынысының негізгі қолданылуыкремний пластинасын өндіруөндіруде жатыркварц тигельдері, вафельді өндіруге арналған бір кристалды кремний құймаларын өсіру үшін пайдаланылатын Чохральски процесі (CZ) үшін маңызды. Сонымен қатар, кварцты тазартатын контейнерлер де қолданылады.

Semicorex Балқытылған кварц тигель

Вафельді өңдеудегі қолдану

Вафлиді өңдеу кезінде әртүрлі өңдеулер сияқтытотығу, эпитаксия, литография, офорт, диффузия, химиялық буларды тұндыру (CVD), иондарды имплантациялау және жылтырату кремний пластинкаларында орындалады. Жоғары тазалықтағы кварц шыны өзінің тазалығы, жоғары температураға төзімділігі, төмен термиялық кеңеюі және коррозияға төзімділігі арқасында бұл процестерде шешуші рөл атқарады.

1)Диффузия және тотығу: Кварцты шыны диффузиялық түтіктерБұл процестерде ілеспе кварц фланецтерімен бірге кеңінен қолданылады. Басқа негізгі компоненттер кіредікварц пештерінің түтіктері(тасымалдау үшінкварц қайықтарыпештің ішінде және сыртында), кварцты қайықтар (кремний пластинкаларын тасымалдауға арналған), кварцты қайық сөрелері. Бұлардың ішінде,кварцты шыны диффузиялық түтіктертазалығымен, жоғары температуралық деформацияға төзімділігімен және IC сапасына, құнына және өндіріс тиімділігіне тікелей әсер ететін дәл геометриямен ең маңыздысы.

Кварц қайықтарыжәне сөрелер диффузия, тотығу, CVD және күйдіру процестері кезінде кремний пластиналары үшін таптырмас тасымалдаушылар ретінде қызмет етеді. Бұл компоненттер әртүрлі сипаттамаларда және өлшемдерде келеді, әдетте көлденең және тік конфигурацияларда қол жетімді. Жоғары температурада кремний пластиналарымен тікелей байланыста болу осы компоненттер үшін тамаша термиялық тұрақтылық пен өлшемдік дәлдікпен жоғары таза кварц шынысын пайдалануды қажет етеді.

Диффузиялық пешке арналған Semicorex кварц компоненттері

2)Ою және тазалау:Ою процесі коррозияға төзімді кварц шыны материалдары мен компоненттерін қажет етеді, бұл кварц сақиналарына, кварц шыны реакциялық камераларына және вафли тіректеріне айтарлықтай сұранысқа әкеледі. Сонымен қатар, қышқылды тазалау және ультрадыбыстық тазалау кезеңдері материалдың ерекше химиялық тұрақтылығын ескере отырып, тиісінше кварц шыны себеттер мен тазалау цистерналарын пайдаланады. Кварцты құмыралар кремнийдің эпитаксиалды өсуі кезінде де қолданылады.

3)Фотолитография:Жоғары тазалықтағы кварц шыны фотолитография процесіндегі маңызды құрамдас бөліктер, фотомаскалардың негізгі субстрат материалы ретінде қызмет етеді. Qingyi Photomask проспектісінің деректерінде көрсетілгендей, бұл субстраттарды сатып алу құны фотомаскаларға арналған жалпы шикізат құнының айтарлықтай 90% құрайды. СКД, жартылай өткізгіштер және басқа электрондық құрылғыларды өндіру кезінде схема үлгілерін тасымалдауға арналған жоғары дәлдіктегі құралдар ретінде фотомаскалар соңғы өнімнің дәлдігі мен сапасына тікелей әсер етеді. Бұл фотомаска субстраттары үшін негізгі материал ретінде өте жоғары таза синтетикалық кварц шыны құймаларын пайдалануды қажет етеді.

Қорытындылай келе, жоғары тазалықтағы кварц көрсететін қасиеттердің бірегей үйлесімі жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі таптырмас материал ретіндегі орнын бекітті. Технология дамып, миниатюризация мен өнімділікке қойылатын талаптар артқан сайын, жоғары сапалы кварц материалдарына деген сенім тек электрониканың болашағын қалыптастырудағы шешуші рөлін одан әрі нығайта түседі деп күтілуде.**

Semicorex тәжірибелі өндіруші және жеткізуші ретінде жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсібіне арналған жоғары таза кварц материалдарын ұсынады. Егер сізде қандай да бір сұрақтар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com