Вафельді өңдеудегі электростатикалық патронның (ESC) құпиясын жою технологиясы

1. ESC дегеніміз не?

ESC өңдеу жабдығының вакуумдық ортасында пластиналарды немесе астарларды сенімді ұстау үшін электростатикалық күштерді пайдаланады. Бұл әдіс нәзік беттерді сызып тастауы немесе кернеулі сынықтарды тудыруы мүмкін дәстүрлі механикалық қысу әдістерімен байланысты зақымдану мүмкіндігін жояды. Вакуумдық патрондардан айырмашылығы, ESC қысым дифференциалына сенбейді, бұл пластинаны өңдеуде үлкен бақылау мен икемділікке мүмкіндік береді.

2. Электростатикалық адгезияның үш принципі

ESC шығаратын тартымды күш әдетте үш электростатикалық принциптің тіркесімінен туындайды: Кулон күші, Джонсон-Рахбек күші және градиент күші. Бұл күштер жеке әрекет ете алатынымен, олар қауіпсіз ұстауды жасау үшін жиі синергетикалық жұмыс істейді.

Кулон күші:Бұл негізгі электростатикалық күш зарядталған бөлшектердің өзара әрекеттесуінен туындайды. ESC-де патронның электродтарына берілген кернеу пластинаның және патронның бетінде қарама-қарсы зарядтарды индукциялайтын электр өрісін тудырады. Алынған Кулон аттракционы вафлиді орнында мықтап ұстайды.

Джонсон-Рахбек күші:Вафли мен патрон бетінің арасында минуттық алшақтық болған кезде Джонсон-Рахбек күші іске қосылады. Қолданылатын кернеу мен саңылау қашықтығына байланысты бұл күш осы микро-саңылаулардағы өткізгіш бөлшектердің зарядталған беттермен әрекеттесуінен туындайды. Бұл өзара әрекеттесу вафлиді патронмен тығыз байланысқа тартатын тартымды күш тудырады.

Градиент күші:Біркелкі емес электр өрісінде объектілер өріс кернеулігін арттыру бағытында таза күшке ие болады. Градиент күші деп аталатын бұл принципті өрістің біркелкі емес таралуын жасау үшін электрод геометриясын стратегиялық жобалау арқылы ESC-де қолдануға болады. Бұл күш пластинаны қауіпсіз және дәл орналастыруды қамтамасыз ететін ең жоғары өріс қарқындылығы аймағына тартады.

3. ESC құрылымы

Әдеттегі ESC төрт негізгі компоненттен тұрады:

Диск:Диск оңтайлы адгезия үшін тегіс, тегіс интерфейсті қамтамасыз ету үшін дәл өңделген пластинаның негізгі жанасу беті ретінде қызмет етеді.

Электрод:Бұл өткізгіш элементтер пластинаның тартылуына қажетті электростатикалық күштерді тудырады. Басқарылатын кернеуді қолдану арқылы электродтар пластинкамен әрекеттесетін электр өрісін жасайды.

Жылытқыш:ESC ішіндегі кіріктірілген жылытқыштар жартылай өткізгішті өңдеудің көптеген қадамдарында маңызды аспект болып табылатын дәл температураны бақылауды қамтамасыз етеді. Бұл өңдеу кезінде вафлиді дәл термиялық басқаруға мүмкіндік береді.

Негізгі тақта:Негізгі тақта барлық компоненттердің дұрыс туралануын және тұрақтылығын қамтамасыз ете отырып, бүкіл ESC жинағы үшін құрылымдық қолдауды қамтамасыз етеді.**