Құрғақ оюдың және дымқыл оюдың жақсы және жаман жақтары қандай?

1. Құрғақ және дымқыл ою дегеніміз не?

Құрғақ ою - бұл ешқандай сұйықтықты пайдаланбайтын әдіс, оның орнына пластинаның бетіне қатты материалды сызу үшін плазманы немесе реактивті газдарды пайдаланады. Бұл әдіс DRAM және Flash жады сияқты микросхема өнімдерінің көпшілігін өндіруде таптырмас әдіс болып табылады, мұнда ылғалды сызуды қолдануға болмайды. Ылғалды ою, керісінше, қатты материалды пластинаның бетіне сызу үшін сұйық химиялық ерітінділерді қолдануды қамтиды. Барлық чип өнімдеріне әмбебап қолданылмаса да, дымқыл оюды вафли деңгейіндегі қаптамада, MEMS-те, оптоэлектронды құрылғыларда және фотоэлектрлік құрылғыларда кеңінен қолданылады.

2. Құрғақ және дымқыл оюдың сипаттамасы қандай?

Алдымен изотропты және анизотропты ою ұғымдарын анықтайық. Изотропты ою-өрнек тасты тыныш суға лақтырған кезде толқындардың біркелкі таралатынына ұқсас, бір жазықтықта барлық бағытта біркелкі ою жылдамдығын білдіреді. Анизотропты оюлау бір жазықтықта әртүрлі бағыттар бойынша ою жылдамдығының өзгеретінін білдіреді.

Ылғал ою изотропты. Вафли сызу ерітіндісіне тиген кезде, ол төмен қарай ойып кетеді, сонымен қатар бүйірлік оюды тудырады. Бұл бүйірлік сызу анықталған сызық еніне әсер етуі мүмкін, бұл оюдан айтарлықтай ауытқуларға әкеледі. Осылайша, дымқыл оюлау кескіндерді өңдеуді дәл бақылау қиын, бұл оны 2 микрометрден аз мүмкіндіктерге жарамсыз етеді.

Керісінше, құрғақ оюлау ою кескінін дәлірек басқаруға мүмкіндік береді және икемді ою әдістерін ұсынады. Құрғақ ою-өрнек изотропты және анизотропты оюға қол жеткізе алады. Анизотропты оюлау конустық (бұрыш <90 градус) және тік профильдерді (бұрыш ≈90 градус) жасай алады.

Қорытындылай келе:

1.1 Құрғақ оюдың артықшылықтары (мысалы, RIE)

Бағыттылық: жоғары бағыттылыққа қол жеткізе алады, нәтижесінде тік бүйір қабырғалары және жоғары арақатынастары болады.

Селективтілік: Белгілі бір өңдеу газдары мен параметрлерін таңдау арқылы сызу селективтілігін оңтайландыра алады.

Жоғары ажыратымдылық: тамаша мүмкіндіктер мен терең траншеяларды өңдеу үшін қолайлы.

1.2 Ылғалды оюлаудың артықшылықтары

Қарапайымдылық және үнемділік: Операцияға арналған сұйықтықтар мен жабдықтар әдетте құрғақ ою үшін қолданылатындарға қарағанда үнемді.

Біркелкілігі: бүкіл пластина бойынша біркелкі оюды қамтамасыз етеді.

Күрделі жабдық қажет емес: әдетте тек батыру ваннасы немесе айналдыру жабыны қажет.

3. Құрғақ және дымқыл оюдың арасында таңдау

Біріншіден, чип өніміне қойылатын технологиялық талаптарға сүйене отырып, егер тек құрғақ оюлау офорттау тапсырмасын орындай алатын болса, құрғақ оюды таңдаңыз. Құрғақ және дымқыл ою талаптарды орындай алатын болса, оның үнемділігіне байланысты әдетте ылғалды оюға артықшылық беріледі. Сызықтың енін немесе тік/конустық бұрыштарды дәл бақылау қажет болса, құрғақ оюды таңдаңыз.

Дегенмен, белгілі бір арнайы құрылымдарды дымқыл ою арқылы ою керек. Мысалы, MEMS-те өңделген кремнийдің төңкерілген пирамида құрылымына тек дымқыл ою арқылы қол жеткізуге болады.**