SiC қайығы дегеніміз не және оның әртүрлі өндірістік процестері қандай?

1. Әртүрлі өндірістік процестерSiC қайығы

(1) қабатын жабуSiC фильміграфит бетіндехрустальды қайықтарCVD арқылы

Қайықтың бұл түрінің графит өзегі бар, ол бір бөлікте өңделеді. Дегенмен,графит кеуектіжәне бөлшектердің пайда болуына бейім, бұл а қолдануды қажет етедіSiC қабықшасыоның бетінде. Графит денесі мен жылулық кеңею коэффициентінің (CTE) сәйкес келмеуіне байланыстыSiC фильмі, жабын бірнеше қыздыру және салқындату циклдарынан кейін қабыршақтанып, бөлшектердің ластануына әкеледі. Бұл қайықтар ең арзан және қызмет ету мерзімі шамамен бір жыл.

(2) қабатын жабуSiC фильміқайта кристалданғанSiC кристалды қайықтар

Қайта кристалданғанSiC қайықтарыкеуекті болып табылады және бөлшектерді оңай тудыруы мүмкін. Сондықтан қайта кристалданған жеке құрамдас бөліктерSiC қайықтарыалдын ала қалыптау, агломерациялау, содан кейін бөлек өңдеу керек. Содан кейін компоненттер Si пастасының көмегімен жоғары температурада біріктіріледі. Бір қайыққа жиналғаннан кейін, аSiC фильміCVD арқылы қолданылады. Бұл қайта кристалдандыSiC қайығыең ұзақ өндіріс процесі бар және қымбат, бірақ бетіCVD жабынысондай-ақ зақымдалуы мүмкін, қызмет ету мерзімі шамамен үш жыл.

(3)МонолиттіSiC кристалды қайықтар

Мыналарқайықтартолығымен SiC материалынан тұрады. SiC ұнтағы монолитті қайықтың пішініне құйылып, күйдірілуі керек. Өте қымбат, олар өте берік және бөлшектердің пайда болу ықтималдығы аз. Дегенмен, бұл қайықтарда фтор мен хлордың эрозиясына бейім, бөлшектердің ластануына әкелетін 10-15% бос кремний бар.

2. Неліктен химиялық тазалау ұсынылмайды?

Қорытындылай келе, үшінSiC қайықтарыа-мен қапталғанCVD арқылы SiC пленкасы, беткі жабын құрғақ тазалау кезінде пиллингке бейім, бұл бөлшектердің ластануын тудырады. Монолитті үшінSiC қайықтарықұрамында аз мөлшерде бос кремний бар болса, құрамында фтор немесе хлор бар газдардың әсері эрозияға және бөлшектердің пайда болуына, осылайша ластануды тудыруы мүмкін.**