Кеуекті графит материалдарының SiC кристалының өсуі үшін маңызы

Semicorex компаниясының SiC кристалды өсіру пешінің құрамдас бөлігі,кеуекті графит бөшке, үш үлкен пайда әкеледі және отандық бәсекеге қабілеттілікті тиімді күшейте аладыSiC субстраттары:

• SiC кристалының өсу компоненттерінің құнын төмендету;
• SiC кристалының қалыңдығын ұлғайту және субстраттың жалпы құнын төмендету;
• SiC кристалының кірістілігін арттыру және корпоративтік бәсекеге қабілеттілікті арттыру.

SiC кристалды өсіретін пештерге кеуекті графит парақтарын қосу өнеркәсіптегі ыстық нүктелердің бірі болып табылады. а енгізу арқылы дәлелдендікеуекті графитSiC көзінің ұнтағынан жоғары парақтар, кристалдық аймақта жақсы масса алмасуға қол жеткізіледі, бұл дәстүрлі кристалды өсіретін пештерде бар әртүрлі техникалық мәселелерді жақсартуға мүмкіндік береді.

(a) дәстүрлі кристалды өсіретін пеш, (b) кеуекті графит парағы бар кристалды өсіретін пеш

Дереккөз: Донгуй университеті, Оңтүстік Корея

Тәжірибе көрсеткендей, дәстүрлі кристалды өсіретін пештерді пайдаланған кезде SiC субстраттары әдетте әртүрлі боладыполиморфтар, мысалы, 6H және 15R-SiC, алSiC субстраттарыКеуекті графит негізіндегі кристалды өсіретін пештерді пайдаланып дайындалған4H-SiC монокристалы. Сонымен қатар, микротүтіктердің тығыздығы (MPD) және ою шұңқырының тығыздығы (EPD) де айтарлықтай төмендейді. Екі кристалды өсіретін пештердің MPD сәйкесінше 6-7EA/cm2 және 1-2EA/cm2 құрайды, олар6 есеге дейін қысқарды.

Semicorex сонымен қатар негізделген жаңа «бір реттік жаппай тасымалдау» процесін іске қостыкеуекті графит парақтары. Кеуекті графит өте жақсытазарту қабілеті. Жаңа процесс бастапқы масса алмасу үшін жаңа жылу өрісін пайдаланады, бұл масса алмасу тиімділігін жақсартады және негізінен тұрақты етеді, осылайша қайта кристалдану әсерін азайтады (екінші масса алмасуды болдырмайды), микротүтікшелердің немесе басқа байланысты кристалдық ақаулардың пайда болу қаупін тиімді төмендетеді. Сонымен қатар, кеуекті графит SiC кристалының өсуі мен қалыңдығы мәселесін шешуге арналған негізгі технологиялардың бірі болып табылады, өйткені ол газ фазасының құрамдас бөліктерін теңестіре алады, іздік қоспаларды оқшаулай алады, жергілікті температураны реттей алады және көміртекті орау сияқты физикалық бөлшектерді азайтады. Кристаллды қолдануға болатындығына байланысты,кристалдың қалыңдығыазайтуға болады. айтарлықтай артуы мүмкін.

Техникалық ерекшеліктеріSemicorex кеуекті графит:

Кеуектілік 65% дейін жетуі мүмкін;

Кеуектер біркелкі бөлінген;

Жоғары партия тұрақтылығы;

Жоғары беріктік, ≤1мм ультра жұқа цилиндрлік пішінге жетуі мүмкін.

Semicorex жоғары сапаны ұсынадыкеуекті графитбөліктері. Егер сізде қандай да бір сұрақтар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com