MOCVD білу

MOCVD - бу фазасының эпитаксиалды өсуінің (VPE) негізінде жасалған жаңа бу фазасының эпитаксиалды өсу технологиясы. MOCVD кристалдық өсудің бастапқы материалдары ретінде III және II элементтердің органикалық қосылыстарын және V және VI элементтерінің гидридтерін пайдаланады. Әртүрлі III-V негізгі топтарды, II-VI топша құрама жартылай өткізгіштердің жұқа қабатты монокристалды материалдарын және олардың көп элементті қатты ерітінділерін өсіру үшін субстратта термиялық ыдырау реакциясы арқылы бу фазасының эпитаксисін жүзеге асырады. Әдетте MOCVD жүйесіндегі кристалдардың өсуі қалыпты қысымда немесе төмен қысымда (10-100Torr) ағып жатқан H2 бар суық қабырғалы кварцты (тот баспайтын болат) реакциялық камерада жүзеге асырылады. Субстрат температурасы 500-1200°C, ал графит негізі тұрақты токпен қыздырылады (Негізгі субстрат графит негізінің үстінде) және H2 металл-органикалық қосылыстарды тасымалдау үшін температурамен басқарылатын сұйықтық көзі арқылы көпіршіктендіріледі. өсу аймағы.

MOCVD қолданбаларының кең ауқымына ие және барлық дерлік қосылыстар мен қорытпа жартылай өткізгіштерді өсіре алады. Ол әртүрлі гетероструктуралық материалдарды өсіруге өте қолайлы. Ол сондай-ақ ультра жұқа эпитаксиалды қабаттарды өсіре алады және өте тік интерфейстік ауысуларды ала алады. Өсуді бақылау оңай және өте жоғары тазалықта өсе алады. Жоғары сапалы материалдар, эпитаксиалды қабат үлкен аумақта жақсы біркелкілікке ие және үлкен көлемде шығарылуы мүмкін.

Semicorex жоғары сапаны ұсынадыCVD SiC жабыныграфит бөліктері. Егер сізде қандай да бір сұрақтар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com