Кремний карбиді өнеркәсібі

Кремний карбиді өнеркәсібі субстрат жасауды, эпитаксиалды өсуді, құрылғы дизайнын, құрылғыны өндіруді, орауды және сынауды қамтитын процестер тізбегін қамтиды. Жалпы алғанда, кремний карбиді құйма түрінде жасалады, содан кейін олар кесіліп, ұнтақталып, жылтыратылады.кремний карбиді субстрат. Субстрат эпитаксиалды өсу процесінен өтедіэпитаксиалды пластинка. Содан кейін эпитаксиалды пластинаны фотолитография, өрнектеу, ионды имплантациялау және тұндыру сияқты әртүрлі қадамдар арқылы құрылғы жасау үшін пайдаланылады. Пластиналар матрицаларға кесіліп, құрылғыларды алу үшін қапталады. Соңында құрылғылар біріктіріліп, арнайы корпуста модульдерге жиналады.

Кремний карбидінің өнеркәсіп тізбегінің мәні негізінен жоғары ағынды субстрат пен эпитаксиалды буындарда шоғырланған. CASA деректеріне сәйкес, субстрат кремний карбиді құрылғыларының құнының шамамен 47% құрайды, ал эпитаксиалды байланыс 23% құрайды. Өндіріске дейінгі шығындар жалпы құнның 70% құрайды. Екінші жағынан, Si негізіндегі құрылғылар үшін вафли өндірісі шығындардың 50% құрайды, ал вафельді субстрат құнының тек 7% құрайды. Бұл кремний карбиді құрылғылары үшін жоғары ағынды субстрат пен эпитаксиалды байланыстардың мәнін көрсетеді.

болғанына қарамастанкремний карбиді субстратжәнеэпитаксиалдыкремний пластинкасымен салыстырғанда бағалар салыстырмалы түрде қымбат, кремний карбиді құрылғыларының жоғары тиімділігі, жоғары қуат тығыздығы және басқа сипаттамалары оларды әртүрлі салалар, соның ішінде жаңа энергетикалық көліктер, энергетика және өнеркәсіп секторлары үшін тартымды етеді. Сондықтан кремний карбидінің құрылғыларына сұраныс тез артады деп күтілуде, бұл кремний карбидінің әртүрлі салаларға енуіне ықпал етеді.