MOCVD жүйесі дегеніміз не?

Металл-органикалық химиялық булардың тұндыру (MOCVD) ретінде белгілі MOCVD - субстратта жұқа жартылай өткізгіш пленкаларды өсіру әдісі. MOCVD көмегімен көптеген нано-қабаттарды ерекше оптикалық және электрлік қасиеттері бар материалдарды қалыптастыру үшін әрқайсысы бақыланатын қалыңдығы бар үлкен дәлдікпен қоюға болады.

MOCVD жүйесі - материалдың жұқа қабықшаларын субстратқа қою үшін металл органикалық прекурсорларды пайдаланатын химиялық буларды тұндыру (CVD) жүйесінің бір түрі. Жүйе реактор ыдысынан, газ жеткізу жүйесінен, субстрат ұстағышынан және температураны реттеу жүйесінен тұрады. Металл органикалық прекурсорлар реактор ыдысына тасымалдаушы газбен бірге енгізіледі және жоғары сапалы жұқа қабықтың өсуін қамтамасыз ету үшін температура мұқият бақыланады.

MOCVD қолданудың басқа тұндыру әдістеріне қарағанда бірнеше артықшылықтары бар. Бір артықшылығы - бұл жұқа қабықшалардың қалыңдығы мен құрамын дәл бақылай отырып, күрделі материалдарды тұндыруға мүмкіндік береді. Бұл жұқа қабықшалардың материалдық қасиеттері құрылғының жұмысына айтарлықтай әсер ететін өнімділігі жоғары жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру үшін өте маңызды.

MOCVD тағы бір артықшылығы - оны кремний, сапфир және галлий арсениді қоса алғанда, әртүрлі субстраттарға жұқа қабықшаларды қою үшін пайдалануға болады. Бұл икемділік оны компьютерлік чиптерден бастап жарықдиодты шамдарға дейін жартылай өткізгіш құрылғылардың кең ауқымын өндіруде маңызды процесс етеді.

MOCVD жүйелері жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде кеңінен қолданылады және олар көптеген озық технологияларды әзірлеуде маңызды рөл атқарды. Мысалы, MOCVD жарықтандыру және дисплей қолданбалары үшін жоғары тиімді жарықдиодты шамдарды, сондай-ақ фотоэлектрлік қолданбалар үшін жоғары өнімді күн батареяларын өндіру үшін пайдаланылды.