Жартылай өткізгішті қолданудағы кварц өнімдері

Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде кварц кеңінен қолданылады, ал жоғары тазалықтағы кварц өнімдері вафли өндірісінде одан да маңызды шығын материалдары болып табылады. Кремний монокристалды тигельдерді, кристалды қайықтарды, диффузиялық пештің өзек түтіктерін және басқа кварц компоненттерін өндіруде жоғары тазалықтағы кварц шыны бұйымдарын пайдалану қажет. Жартылай өткізгіш саласындағы кварц бөлшектері, пластинаны құюға арналған диффузия және өңдеу процесіне арналған негізгі мақсатты нарықтық қосымшалар, жоғары температуралық аймақ құрылғылары мен төмен температуралық аймақ құрылғыларының екі санатына бөлуге болады, негізгі құрылғыларды келесідей пайдаланады:

1) Жоғары температура аймағының құрылғылары негізінен диффузиялық тотығу және пеш түтіктерін пайдаланудың басқа аспектілері, шыны қайық сөрелері және т.б., кремний пластинасымен тікелей немесе жанама байланыста жоғары температуралы ортада болуы керек; негізінен термиялық өңдеу арқылы өндірілген электр балқытылған кварц шыны материалдарын сатып алу;

2) Төмен температуралық аймақ құрылғылары негізінен кварц сақиналары сияқты қыштандырғыш буындар болып табылады, сонымен қатар, негізінен төмен температуралы орталарда қолданылатын тазалау технологиялық себеттер, тазалау цистерналары және т.б. кіреді; негізінен суық өңдеу өндірісі арқылы газды тазартатын кварц шынысын сатып алды

Олардың ішінде жоғары температура аймағының құрылғылары жылдамырақ тұтынылады, бірақ көп чипті машинаға ұқсас (бірден көп пластинаны тасымалдауға арналған тасымалдаушы), төмен температуралы аймақ құрылғылары баяу, бірақ монолитті (вафлиді тасымалдауға арналған таспа) тұтынады. ; сондықтан екі жалпы нарық көлемі бір-біріне салыстырмалы түрде жақын.