Диффузиялық пеш дегеніміз не?

Диффузиялық пеш - жартылай өткізгіш пластинкаларға басқарылатын жолмен қоспаларды енгізу үшін қолданылатын арнайы жабдық. Қоспалар деп аталатын бұл қоспалар жартылай өткізгіштердің электрлік қасиеттерін өзгертіп, электронды компоненттердің әртүрлі түрлерін жасауға мүмкіндік береді. Бұл басқарылатын диффузиялық процесс транзисторларды, диодтарды және интегралды схемаларды өндіру үшін өте маңызды.

Диффузиялық пештер технологиялық түтіктерді, қыздыру элементтерін, ауа қабылдау механизмдерін және басқару жүйелерін қамтитын бірнеше негізгі компоненттерден тұрады. Технологиялық түтік пластина орналастырылатын камераның рөлін атқарады. Ол жоғары температура мен коррозиялық газдарға төтеп бере алады, бұл оны осы қолданба үшін тамаша материал етеді.

Қыздыру элементтері, пештің температурасын қажетті деңгейге көтеру үшін қажетті жылуды қамтамасыз етеді. Диффузиялық пештердегі температура әдетте 1200 ° C-қа дейін жоғары. Біркелкі жылытуды қамтамасыз ету үшін қыздыру элементтері көбінесе бұрандалы пішінде орналасады.

Қоспа газын пешке енгізу үшін газ енгізу механизмі қолданылады. Жалпы қоспаларға соңғы жартылай өткізгіш өнімнің қажетті электрлік қасиеттеріне байланысты бор, фосфор және мышьяк жатады. Басқару жүйесі диффузия процесін нақты бақылауды сақтай отырып, қоспа газының ағынын реттейді.

Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде диффузиялық пештер кеңінен қолданылады. Олар транзисторлар мен диодтарда pn түйіспелерін жасайтын допинг процесінде қолданылады. Диффузиялық пештер интегралдық схемаларды жасауда маңызды рөл атқарады, мұнда әртүрлі жартылай өткізгіштердің бірнеше қабаттары қабаттасып, өзара байланысты.

Сонымен қатар, диффузиялық пештер қуатты MOSFET (металл оксиді жартылай өткізгіш өрістік транзисторлар) және оқшауланған қақпалы биполярлы транзисторлар (IGBTs) сияқты жетілдірілген жартылай өткізгіш құрылғыларды жасау үшін өте маңызды. Бұл құрылғылар электр электроникасы мен жаңартылатын энергия технологиясында өте маңызды, сондықтан диффузиялық пештер олардың өндірісінің ажырамас бөлігі болып табылады.

Диффузиялық пештер жартылай өткізгіш пластинкаларға қоспаларды бақыланатын енгізуге мүмкіндік беретін жартылай өткізгіштерді өндірудегі маңызды құрал болып табылады. Бұл пештер транзисторлар, диодтар және интегралдық схемалар сияқты әртүрлі жартылай өткізгіш құрылғыларды өндірудің ажырамас бөлігі болып табылады. Технология дамыған сайын диффузиялық пештердің мүмкіндіктері артып, дәлірек және сенімді өндірістік процестерге мүмкіндік береді. Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі озық электронды жабдықтарға өсіп келе жатқан сұранысты қанағаттандыру үшін осы пештерге қатты сүйенеді.

Semicorex диффузиялық пештер үшін арнайы SiC бөлшектерін жасайды. Егер сізде қандай да бір сұрақтарыңыз болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com