2023-09-08
Жартылай өткізгіш пластиналарды өңдеу кезінде пластиналарды қыздыру үшін арнайы пештер қолданылады. Бұл пештерде ұзартылған цилиндрлік түтіктер бар, онда пластиналар вафельді қайықтарда алдын ала белгіленген және бірдей қашықтықта орналасқан. Өңдеу жабдығы пластиналарды ысырап етпеуін және камерадағы өңдеу шарттарына төтеп беруін қамтамасыз ету үшін вафельді қайықтар және вафельді өңдеуде қолданылатын басқа құрылғылар кремний карбиді (SiC) сияқты материалдардан жасалған.
Өңделетін вафли партиясы тиелген вафельді қайықтар ұзын консольді қалақтарда орналасқан. Бұл қалақтарды құбырлы пештер мен реакторларға салуға және олардан алуға болады. Қалақшалар бір немесе бірнеше қайықтарды ұстай алатын тегістелген тасымалдаушы бөліктен және оңай өңдеу үшін тегістелген тасымалдаушы бөліктің бір шетінде орналасқан ұзын тұтқадан тұрады.
Жартылай өткізгішті өңдеудегі ең жақсы компоненттер үшін CVD SiC жұқа қабаты бар қайта кристалданған кремний карбидінен жасалған консольдық қалақшаны пайдалану ұсынылады. Бұл материал жоғары тазалықта және мұндай компоненттер үшін ең жақсы таңдау болып табылады.
Semicorex жоғары сапалы CVD SiC жабыны бар консольдық қалақтарды жасайды. Егер сізде қандай да бір сұрақтарыңыз болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.
Байланыс телефоны +86-13567891907
Электрондық пошта: sales@semicorex.com