SiC кристалдарындағы ақаулар туралы - Micropipe

SiC субстратта микроскопиялық ақаулар болуы мүмкін, мысалы, бұрандалы бұранданың дислокациясы (TSD), бұрандалы жиектердің дислокациясы (TED), негіз жазықтығының дислокациясы (BPD) және т.б. Бұл ақаулар атомдар деңгейіндегі атомдардың орналасуындағы ауытқулардан туындайды. SiC кристалдарының макроскопиялық дислокациялары болуы мүмкін, мысалы, Si немесе C қосындылары, микроқұбырлар, алтыбұрышты бос орындар, полиморфтар және т.б. Бұл дислокациялар әдетте үлкен болады.

SiC құрылғыларын өндірудегі негізгі мәселелердің бірі әдетте сәйкесінше өлшемі 30-40um және 0,1-5um болатын «микроқұбыр» немесе «түйіршікті тесіктер» деп аталатын үш өлшемді микроқұрылымдар болып табылады. Бұл микроқұбырдың тығыздығы 10-10³/см² және эпитаксиалды қабатқа еніп, құрылғыны өлтіретін ақауларды тудыруы мүмкін. Олар, ең алдымен, спиро дислокациясының кластерленуінен туындайды және SiC құрылғыларының дамуындағы негізгі кедергі болып саналады.

Субстраттағы микротүтік ақаулары өсу процесінде эпитаксиальді қабатта пайда болатын бос орындар, әртүрлі полиморфтардың қосындылары, егіздер және т.б. сияқты басқа ақаулардың көзі болып табылады. Сондықтан субстрат материалының өсу процесінде ең маңызды нәрсе істеу керек. жоғары вольтты және жоғары қуатты SiC құрылғылары үшін көлемді SiC кристалдарындағы микротүтік ақауларының пайда болуын азайту және олардың эпитаксиалды қабатқа түсуін болдырмау болып табылады.

Микроқұбырды шағын шұңқырлар ретінде қарастыруға болады және процестің шарттарын оңтайландыру арқылы біз микроқұбырдың тығыздығын азайту үшін «шұңқырларды толтыра» аламыз. Әдебиеттердегі және эксперименттік деректердегі бірнеше зерттеулер булану эпитаксиясы, ЖҚЖ өсуі және сұйық фазалық эпитаксис микроқұбырды толтырып, микроқұбырдың түзілуін және дислокацияны азайта алатынын көрсетті.

Semicorex микроқұбырдың тығыздығын тиімді төмендететін SiC жабындарын жасау үшін MOCVD техникасын пайдаланады, нәтижесінде жоғары сапалы өнімдер пайда болады. Егер сізде қандай да бір сұрақтарыңыз болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com