TaC жабыны

TaC керамикасының балқу температурасы 3880°C, жоғары қаттылық (Mohs қаттылығы 9-10), үлкен жылу өткізгіштік (22W·m) бар.^-1· Қ⁻¹), үлкен иілу беріктігі (340-400МПа) және жылу кеңеюінің кіші коэффициенті (6,6×10)^-6K-1) және тамаша термохимиялық тұрақтылық пен тамаша физикалық қасиеттерді көрсетеді, сондықтан TaC жабындары аэроғарыштық термиялық қорғаныста кеңінен қолданылады, ал графит пен C/C композиттері жақсы химиялық үйлесімділік пен механикалық үйлесімділікке ие. ) және тамаша термохимиялық тұрақтылық пен тамаша физикалық қасиеттерді көрсетеді, ал графит пен C/C композиттері жақсы химиялық үйлесімділік пен механикалық үйлесімділікке ие, сондықтан TaC жабындары аэроғарыштық термиялық қорғаныста, монокристалды өсуде, энергетика мен электроникада және медициналық құрылғыларда кеңінен қолданылады, т.б. TaC қапталған графит жалаңаш графитке немесе SiC қапталған графитке қарағанда жақсы химиялық төзімділікке ие және 2600° жоғары температурада тұрақты түрде пайдалануға болады. 2600 ° жоғары температураның тұрақтылығы және көптеген металл элементтері әрекет етпейді, бұл жартылай өткізгішті монокристалды өсу және пластинаны өңдеу сценарийлерінің үшінші буыны, жабынның ең жақсы өнімділігінде, температура мен қоспаларды бақылау процесін айтарлықтай жақсарта алады, жоғары дайындау. - сапалы кремний карбиді пластиналар және тиісті эпитаксиалды пластиналар. Ол GaN немесе AlN монокристалдарын өсіру үшін MOCVD жабдығына және SiC монокристалдарын өсіру үшін PVT жабдығына өте қолайлы және өсірілген монокристалдардың сапасы айтарлықтай жақсарады.

Зерттеу нәтижелері бойынша,TaC жабыны графит құрамдас бөлігінің қызмет ету мерзімін ұзарту, радиалды температураның біркелкілігін жақсарту, SiC сублимациясының стехиометриясын сақтау, қоспалардың миграциясын басу және энергия шығынын азайту үшін қорғаныс және оқшаулау қабаты ретінде әрекет ете алады. Сайып келгенде, TaC қапталған графит тигель жинағы SiC PVT процесін басқаруды және өнім сапасын жақсартады деп күтілуде.