Жартылай өткізгішті өңдеуде қолданылатын Semicorex Керамика

Технологияның дамуымен ұялы телефондар, компьютерлер, электр көліктері және роботтар сияқты ақылды өнімдер адам өміріне кіріктірілді. Бұл өнімдерде жартылай өткізгіш микросхемалардың көп саны бар, ал чиптерді дайындау үшін жартылай өткізгіш жабдықтар қажет, мысалы, ою машиналары, литография машиналары және ион имплантаторлары. Жартылай өткізгіш құрылғыны ашу оның құрамдас бөліктерінің көпшілігі керамикалық бөлшектер екенін көрсетеді. Керамикалық бөлшектер жоғары температураға төзімділік, коррозияға төзімділік, жоғары дәлдік және жоғары беріктік сияқты тамаша қасиеттерге ие, бұл оларды жартылай өткізгіш жабдықта қолдануға өте қолайлы етеді. Керамикалық бөлшектердің көпшілігі жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріндегі негізгі құрамдас бөліктер ретінде пластинкамен тікелей байланысады, бұл жоғары дәлдікті басқаруға және пластинаның бетінің температурасын жылдам қыздыруға және салқындатуға мүмкіндік береді.

Жартылай өткізгішті керамикалық бөлшектер жетілдірілген керамикаға жатады және тартылған керамикалық материалдарға әдетте алюминий тотығы, кремний карбиді, алюминий нитриді, кремний нитриді және иттрий оксиді кіреді. Керамикалық бұйымдарды қалыптау әдістеріне әдетте құрғақ престеу, таспа құю, инъекциялық қалыптау, ыстық изостатикалық престеу, суық изостатикалық престеу, сырғанақ құю, экструзиялық қалыптау, ыстық күйде құю, гельді құю және тікелей қатаюдан құю жатады.

1. Құрғақ престер

Құрғақ престеу - жартылай өткізгіш компоненттерді өндіруге арналған кең таралған процесс. Бұл процесс, ең алдымен, түйіршіктелген ұнтақты бөлшектердің өлшемдері сәйкес келетін металды қалып қуысына құюды, қысым бастиегімен қысым жасауды қамтиды. Қысым басы қалып қуысының ішінде қозғалады, қысымды ұнтақ бөлшектеріне тасымалдайды және оларды нығыздайды, сайып келгенде, белгілі бір пішіні мен беріктігі бар керамикалық дайындаманы құрайды.

2. Кастинг

Құю – қалыңдығы ондаған микрометрден миллиметрге дейінгі керамикалық дайындамаларды бір процесте шығаруға қабілетті ылғалды қалыптау технологиясы. Тұтқырлығы және дисперсиясы жақсы керамикалық суспензия құю машинасының суспензия ойығынан субстратқа ағады. Қоспа жайылып, беттік керілу кезінде үстіңгі беті тегіс дайындама пайда болады. Дайындау субстратпен бірге кептіру камерасына жіберіледі. Еріткіштің булануынан кейін органикалық байланыстырғыш керамикалық бөлшектердің арасында желіні құрайды, белгілі бір беріктігі мен икемділігі бар дайындаманы жасайды. Кептірілген дайындама субстраттан тазартылады және кейінірек пайдалану үшін оралады. Кесу, штамптау және тесу, содан кейін күйдіру сияқты одан әрі өңдеу өнімді дайындау процесін аяқтайды.

3. Инъекциялық қалыптау

Инъекциялық қалыптау - керамикалық бөлшектерді өндірудің жаңа технологиясы. Оны өндіру процесі негізінен төрт кезеңнен тұрады: инъекциялық материалды дайындау, инъекциялық қалыптау, байланыстыру және агломерация. Ол әдетте күрделі геометриялық және арнайы талаптары бар шағын керамикалық бөлшектерді жасау үшін қолданылады.

4. Изостатикалық басу

Изостатикалық престеуге ыстық изостатикалық престеу және суық изостатикалық престеу жатады. Изостатикалық престеу барлық бағыттағы қысымды жібере алады, осылайша парақ материалының тығыздалуын қамтамасыз етеді.

1) Ыстық изостатикалық престеу процесі

Бұл әдіс жоғары температура мен қысымда атомдық диффузияны күшейтеді, керамикадағы кеуектер түйір шекараларына немесе дайындама бетіне көшіп, осылайша кеуектілікті азайтады немесе жояды. Ыстық изостатикалық престеу табиғи салқындатумен салыстырғанда өндіріс тиімділігін айтарлықтай арттыра отырып, біркелкі және жылдам салқындатуға мүмкіндік беретін жұқа қабырғалы алдын ала кернелген орама қондырғыларын пайдаланады.

2) Суық изостатикалық престеу процесі

Бұл әдіс керамикалық немесе металл ұнтағына бөлме температурасында немесе сәл жоғарырақ температурада (<93℃) 100~600 МПа қолданады, содан кейін соңғы беріктігіне дейін агломерацияланатын «жасыл дене» алынады.

5. Слипті құю

Сырғанақ құю - кең ауқымды керамикалық өндірісте жиі қолданылатын қалыптау әдісі. Ол кеуекті гипс қалыпқа қатты құрамы жоғары және жақсы өтімділігі бар суспензияны енгізуді қамтиды. Кеуекті қалыптың капиллярлық соруының арқасында қалыптың ішкі қабырғасымен суспензиядан су сорылады, қалып қабырғасының бойымен қатып қалған жасыл дене түзіледі. Жасыл дене белгілі бір күшке жеткеннен кейін оны бұзуға болады.

6. Экструзиялық қалыптау

Экструзиялық қалыптау керамикалық ұнтақты, сазды немесе органикалық байланыстырғышты және суды араластыруды, экструдталған жасыл денеге жақсы икемділік пен біркелкілік беру үшін бірнеше рет илеуді, вакуумды газсыздандыруды және қартаюды қамтиды. Содан кейін, экструзия бұрандасының немесе плунжердің әсерінен ол қажетті өнім пішінін алу үшін экструдер саптамасындағы матрица арқылы экструдталған.

7. Ыстық пресспен құю

Ыстық пресспен құю негізінен қыздырылған кезде парафинді балқыту және салқындаған кезде қатаю қасиетін пайдаланады. Керамикалық ұнтақ пен ыстық парафинді балауыз ағынды суспензияны қалыптастыру үшін біркелкі араласады. Белгілі бір қысыммен суспензия жасыл денені қалыптастыру үшін металл қалыпқа енгізіледі. Салқындатып, қатқаннан кейін жасыл дене құйылады және алынады. Содан кейін жасыл корпус кесіледі, жоғары температурада балауыздан тазартылады және дайын өнімді алу үшін ақырында агломерацияланады.

8. Гель құю

Гельді құю қаттылығы жоғары суспензияны дайындау үшін құрамында органикалық заттар бар ерітіндіге керамикалық ұнтақты таратуды қамтиды. Содан кейін бұл суспензия белгілі бір пішіндегі қалыпқа енгізіледі. Арнайы каталитикалық және температуралық жағдайларда органикалық мономерлер полимерленеді, гель түзеді, суспензияны in situ қатайтады және кептіреді, нәтижесінде беріктігі жоғары жасыл дене пайда болады.

9. Тікелей қатайтатын құю

Тікелей қатайтатын құю - керамикалық тордың коллоидты құрылымдарын қалыптастырудың жаңа әдісі. Бұл әдіс суспензияға қосылған органикалық мономерлердің айқаспалы байланысын тудыру үшін катализаторларды немесе инициаторларды пайдалана отырып, жергілікті керамикалық технологияны химиялық теориямен біріктіреді, бұл жердегі қатаюға әкелетін желілік құрылымды құрайды.

Semicorex әртүрлі ұсынадыкерамикалық компоненттер. Егер сізде қандай да бір сұрақтар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com