Жалған вафлиге қысқаша кіріспе

Жартылай өткізгіштердің жетілдірілген өндірісі жұқа қабықшаны тұндыру, фотолитография, ою, иондарды имплантациялау, химиялық механикалық жылтыратуды қоса алғанда, көптеген технологиялық қадамдардан тұрады. Бұл процесс кезінде процесстегі ең кішкентай кемшіліктер соңғы жартылай өткізгіш микросхемалардың өнімділігі мен сенімділігіне зиянды әсер етуі мүмкін. Сондықтан процесс тұрақтылығы мен дәйектілігін сақтау, сондай-ақ жабдықтың тиімді мониторингін жүргізу маңызды міндет болып табылады. Жалған вафли - бұл қиындықтарды шешуге көмектесетін маңызды құрал.

Жалған пластиналар - нақты схеманы алып жүрмейтін және соңғы чипті өндіру процесінде пайдаланылмайтын пластиналар. Бұлвафлижаңа, төменгі сортты сынақ пластиналары немесе қалпына келтірілген пластиналар болуы мүмкін. Интегралды схемаларды өндіру үшін пайдаланылатын қымбат өнім пластинкаларынан айырмашылығы, олар әдетте жартылай өткізгіштерді өндіру үшін маңызды болып табылатын әртүрлі өндірістік емес өнімдер үшін қолданылады.

Жалған вафлиді қолдану

1.Процесс біліктілік және баптау

Жалған пластиналар әдетте жаңа технологиялық жабдықты іске қосқанға дейін, қолданыстағы жабдыққа техникалық қызмет көрсету немесе құрамдас бөліктерді ауыстырудан кейін және жаңа технологиялық рецептерді әзірлеу кезінде технологиялық тұрақтылық пен жабдық өнімділігінің сәйкестігін қамтамасыз ету үшін осы жағдайларға дейін сынау үшін қолданылады. Жабдықтың өнімділігін тексеру және процесс параметрлерін дәл реттеу жалған пластиналардағы өңдеу нәтижелерін талдау арқылы сәтті аяқталуы мүмкін, бұл өнімнің пластинасының жоғалуын тиімді азайтады және кәсіпорындардың өндіріс шығындарын азайтады.

2. Жабдықты күйге келтіру және жылыту

Көптеген жартылай өткізгішті технологиялық жабдықтардың камералық ортасы (мысалы, химиялық буларды тұндыру (CVD) жабдықтары, физикалық буларды тұндыру (PVD) жабдықтары және ою машиналары) өңдеу нәтижелеріне айтарлықтай әсер етеді. Мысалы, камераның ішкі қабырғаларында жабын күйі мен температураның таралуы тұрақты күйге жетуі керек. Жалған пластиналар көбінесе технологиялық камераларды кондициялау және камералардың ішкі ортасын (мысалы, температураны, химиялық атмосфераны және бетінің күйін) тұрақтандыру үшін қолданылады, бұл жабдықтың оңтайлы күйде жұмыс істемеуінен туындаған өнім пластинкаларының бірінші партиясындағы технологиялық ауытқуларды немесе ақауларды тиімді болдырмайды.

3. Бөлшектерді бақылау және ластануды бақылау

Жартылай өткізгіштерді өндіруде өте жоғары тазалық талаптары бар; тіпті ұсақ бөлшектердің ластануы чиптің бұзылуына әкелуі мүмкін. Жабдықтың ішіне кіретін пластинкалардың бетіне жабысатын бөлшектерді зерттеу арқылы жабдықтың тазалығын бағалауға болады. Осылайша, ықтимал ластану көздерін анықтау және тазалау немесе техникалық қызмет көрсету процедураларын енгізу арқылы өнім пластинкаларын ластанудан сәтті қорғауға болады.

4. Пакет біркелкілігі үшін ұяшықты толтыру

Технологиялық камерадағы газ ағынына, температураның таралуына және реактив концентрациясына қол жеткізу үшін диффузиялық пештер, тотығу пештері немесе ылғалды тазалау цистерналары сияқты сериялық өңдеу жабдығында толық жүктемеде жұмыс істеу әдеттегі тәжірибе болып табылады. Жалған пластиналар вафельді қайықтың жеткілікті саны жоқ бос саңылауларды толтыру үшін пайдаланылады, бұл жиек әсерін азайтады және барлық өнім пластиналары үшін, әсіресе вафельді қайықтың шеттерінде орналасқандар үшін дәйекті өңдеу шарттарын қамтамасыз етеді.

5. Химиялық механикалық жылтырату (ХМП) процестерін тұрақтандыру

Жалған пластиналарды процесс тұрақтылығын сақтау үшін CMP процесінің алдын ала өңдеу сатысында да пайдалануға болады. Жалған пластиналармен алдын ала сынақтан өткізу жылтырату алаңының кедір-бұдырлығы мен кеуектілігін оңтайландырады, іске қосуды тұрақтандыру фазасында немесе өшіру алдындағы өтпелі кезеңде процестің белгісіздігін азайтады, сондай-ақ суспензияның қалыптан тыс берілуі мен бас диафрагмасының тозуынан туындаған пластинадағы сызаттар мен ақауларды азайтады.

Semicorex үнемді ұсынадыSiC жалпақ пластиналар. Егер сізде қандай да бір сұрақтарыңыз болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com