Жалпы жартылай өткізгішті кварц компоненттері және қолданбалары

Кварц тригональды кристалдық жүйеге жатады, ол кремний диоксидінен тұратын үш өлшемді қаңқалы минералды кристалл. Әдетте, таза кварц түссіз және мөлдір, бірақ ол іздік пигмент иондарының, ұсақ дисперсті қосындылардың немесе түс орталықтарының қалыптасуының нәтижесінде әртүрлі реңктерді қабылдайды. Көптеген тамаша қасиеттері бар кварц жартылай өткізгіштерді өндірудің әртүрлі процестерінде кеңінен қолданылады және оның өнімділігі мен сапасы жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігіне, өнімділігіне және құнына тікелей әсер етеді.

1. Кварц тигель

Theкварц тигельдеріполикристалды кремний шикізатын жоғары температурадағы монокристалды кремний өсу процесінде ұстау үшін қолданылады. Тұрақты тірек материалдарын қамтамасыз ету үшін кварц тигельдері өте жоғары температура тұрақтылығымен (балқу температурасы >1700℃) және қатал жоғары температуралық жұмыс жағдайларының қиындықтарына төтеп беру үшін төмен термиялық кеңею коэффициентімен мақтана алуы керек. Жартылай өткізгішті қолдану үшін кварц тигельдері 4N8 немесе одан жоғары сапалы жоғары таза кварцтан жасалуы керек. Бұл дана материалды таңдау жоғары температураның әсерінен кварц тигельіндегі қоспалық жауын-шашыннан туындаған кристалдардың ластану қаупін тиімді төмендете алады.

Кварц пешінің түтіктері әдетте диффузия, тотығу және химиялық буларды тұндыру (CVD) сияқты әртүрлі пластиналарды өндіру процестері үшін жоғары температуралық реакция камералары ретінде қызмет етеді. Соныменкварц пешінің түтіктеріжоғары температуралық орта әсерінен деформациялануын немесе жұмсартуын болдырмау үшін тамаша жоғары температураға төзімділікпен сипатталуы керек. Кейбір процестерде гидроксил топтарының термиялық тұрақтылыққа әсерін азайту үшін дегидроксилденумен өңдеу қажет. Кварцты пеш түтіктерін өндіру реакция процесі кезінде қоспалардың тұнбаға түсуін және пластинаны өңдеу нәтижелеріне әсер етуді болдырмау үшін металл қоспасы ≤1 ppm жоғары таза кварц материалын қажет етеді.

Кварц қайықтары әдетте ондаған және жүздеген пластиналарды тасымалдау және тасымалдау үшін кварц пешінің түтіктерімен бірге қолданылады. Сондықтан,кварц қайықтарыәдетте кварц пешінің түтіктері сияқты тамаша жоғары температураға, коррозияға төзімділікке және механикалық беріктігі бойынша тұрақты, сенімді өнімділікке ие болуы керек.

Кварц фокус сақиналарыҚұрғақ өңдеу процестері үшін арнайы әзірленген. Олар әдетте плазманы шектеу және гомогенизациялау үшін пластинаның айналасына орнатылады, бұл вафлидегі ою жылдамдығы мен өрнектің біркелкілігін тиімді қамтамасыз етеді. Бұл жұмыс ортасы плазмалық коррозияға күшті төзімділікке, өте жоғары өлшемдік дәлдікке және қалыптан тыс разрядтардың немесе бөлшектердің пайда болуына жол бермеу үшін тегіс бетті әрлеуге ие кварц фокус сақиналарын қажет етеді.