Неліктен тік пештер негізгі таңдау болды?

Тік пештер – жартылай өткізгішті өндірісті термиялық өңдеу үшін арнайы жасалған тігінен орналасқан жоғары температуралы қыздыру құрылғылары. Толық тік пеш жүйесі жоғары температураға төзімді жүйеден тұрадыпеш түтігі, қыздыру элементі, температураны реттеу жүйесі, газды реттеу жүйесі және пластинаның тірек құрылымы. Тік пештер жоғары температура жағдайында арнайы газдарды (мысалы, оттегі, сутегі, азот және т.

Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі термиялық өңдеу жабдықтарының эволюциясында тік пештер үш негізгі артықшылығына байланысты термиялық өңдеу процестері үшін негізгі таңдау болды.

1. Кеңістікті пайдалану тұрғысынан тік пештер тік құбырлар мен тік вафли қайықтарының біріктірілген дизайнын қабылдайды. Бірдей өңдеу қуаттылығы жағдайында олардың едендік кеңістігіне қойылатын талаптар көлденең пештерге қарағанда тек 50%-60% құрайды, әсіресе пластинаның 450 мм кеңею тенденциясы бойынша таза бөлмелердің бірлігіне өндірістік қуат тығыздығын арттыру үшін қолайлы. Модульдік тік қабаттастыру арқылы бір құрылғы өңдей алатын пластиналар саны 40% -ға өсті және бір аудандағы өнімділік көлденең пешке қарағанда айтарлықтай жақсырақ болды.

2. Тік пештер үш нүктелі ойық тіректер арқылы көлденең пластина позицияларына жетеді. Тік ауа ағынымен біріктірілген бұл конфигурация біркелкі температура градиенттерін және пеш ішінде симметриялық термиялық кернеуді бөлуді қамтамасыз етеді, бұл пластинаның деформациялану қаупін 30%-дан астамға азайтады. Ол әсіресе жоғары K-диэлектрлік тұндыру және иондарды имплантациялау жасыту сияқты термиялық сезімтал процестер үшін қолайлы. Керісінше, көлденең пештерді тік орналастыру пластинаның шеттерінде температура ауытқуларын тудыруға бейім және жергілікті кернеу концентрациясының қаупін арттырады.

3. Вафельді автоматтандырылған өңдеудің ыңғайлылығы тік пештердің тағы бір маңызды артықшылығы болып табылады. Көлденең пештерді көтеру үшін роботты қолдар қажетвафлипозициялау дәлдігіне және қысу күшін бақылауға қатаң талаптарды талап ететін тік бағытта. Олар операциялық сәйкессіздіктерге байланысты пластинаның сыну қаупін арттырады. Тік пеште пластиналар көлденең орналастырылады. Роботтық қол вакуумды адсорбция арқылы контактісіз өңдеуге қол жеткізе алады. Көрнекі позициялау жүйесімен бірге өңдеу дәлдігі ±0,1 мм дейін жақсарып, автоматтандырудың жалпы деңгейін айтарлықтай арттырады.