CMP процесінде қандай және эрозия бар?

Химиялық металлельдік жылтырату (CMP), ол химиялық коррозия мен механикалық жылтыратуды біріктіретін, бұл беттік кемшіліктерді кетіруге арналған химиялық коррозия мен механикалық жылтыратқыштар, бұл жалпы порцияға қол жеткізу үшін маңызды жартылай өткізгіш процессвафлибеті. CMP екі беттік ақаулармен, түсі мен эрозиясы, бұл тегіс және интерконнект құрылымдарының электрлік жұмысына айтарлықтай әсер етеді.

Жаптау дегеніміз, CMP процесі кезінде жұмсақ материалдарды (мыс сияқты) үстінен жылтырату, нәтижесінде локализацияланған диск тәрізді орталық депрессиялар пайда болады. Кең орталық металл желілерде немесе үлкен металл учаскелерде бұл құбылыс, ең алдымен, материалдық қаттылыққа сәйкес келмейтін және біркелкі емес механикалық қысымның таралуынан тұрады. Мұнымен айналдыру, ең алдымен, бір, кең металл сызықтың ортасындағы депрессиямен сипатталады, әдетте, дисплейдің тереңдігі, әдетте сызықпен көбейеді.

Эрозия тығыз өрнектелген жерлерде кездеседі (мысалы, тығыздығы жоғары металл сымдар массивтері). Механикалық үйкеліс пен материалды жою тарифтеріндегі айырмашылықтардың арқасында мұндай аудандар айналадағы сирек жерлерге қарағанда жалпы биіктікті көрсетеді. Эрозия тығыз үлгілердің жалпы биіктігін төмендетеді, өрескел күш-жігердің күшейтілуі күшейтіледі.

Жартылай өткізгіш құрылғылардың жұмысына бірнеше ақаулық екі жолмен әсер етеді. Олар өзара байланыс кедергісінің өсуіне әкелуі мүмкін, нәтижесінде сигналдың кешігуі және тізбекті қойылымның төмендеуі әкелуі мүмкін. Сонымен қатар, жыпылықтау және эрозия біркелкі емес диэлектрлік қалыңдығына әкеліп, құрылғының электр өнімділігінің және интерметальды диэлектрлік қабаттың бөліну ерекшелігін бұзады. Кейінгі процестерде олар сонымен қатар литографияны туралау қиындықтарын, ал жұқа қабықпен жабуға, тіпті металл қалдықтарына, одан әрі әсер етуі мүмкін.

Бұл кемшіліктерді тиімді түрде басу, CMP процесінің өнімділігі және чиптік өнімділікті дизайнды оңтайландыру, тұтынылатын таңдау және процестерді басқаруды біріктіру арқылы арттыруға болады. Өрт сөндіру фазасы кезінде металл тығыздықтың біркелкілігін жақсарту үшін метрлік металл үлгілерін енгізуге болады. Жылтыратқыш төсемді таңдау ақауларды төмендете алады. Мысалы, Steffer Pad-тің деформациясы аз және жыпылықтауға көмектеседі. Оның үстіне, шламдың тұжырымы мен параметрі кемшіліктерді басу үшін де маңызды болып табылады. Жоғары селективтілік коэффициентінің арақатынасы эрозияны жақсарта алады, бірақ ол жыпылықтайды. Таңдау коэффициенті қарама-қарсы әсерге ие.

SubicoreX қамтамасыз етеді Вафли ұнтақтау тақталары жартылай өткізгіш жабдық үшін. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысқа түсуден тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com