Жоғары электростатикалық Чак үшін беттік өңдеу

ТаЭлектростатикалық ЧакБірыңғай функцияларды, мысалы, бірыңғай электростатикалық разряд, жылу өткізгіштігі және жартылай өткізгіш өндіріс саласында вафли-вафли-адъюстер және бекіту. ESC-тің негізгі функцияларының бірі - жоғары вафлиге, жоғары вакуум, күшті плазмалар және кең температура диапазоны сияқты жұмыс істемейтін вафли.

Олардың жұмысын нені шынымен анықтайтыны сыртқы құрылым немесе негізгі материал формуласы емес, сонымен қатар беткі өңдеу процесі. Кәсіби бетті емдеу кезінде келесі мәселелер туындайды:

1. Плазмалық эрозия және металл ионды ластану

Қаптаудың бұл түрі белгілі бір салада тұрақты өткізгіш жолды сала алады, осылайша жергілікті зарядтау проблемасын беттік зарядтардың біркелкі төгілуі арқылы тиімді болдырмайды.

2

Жоғары деңгейдегі escs-тің жалпы өңдеу технологиялары:ШЫҒУ, жылу өткізуге кедергі келтіреді және CD біркелкілігіне әсер етеді.

3. Тұрақсыз электростатикалық адсорбция

Жер бетіндегі оқшаулаудың немесе электростатикалық қуыстың өткізгіштігінің дұрыс емес бақылауы, сонымен қатар вафлидің кірістілігіне тікелей әсер ететін адсорбциялық күшке немесе шамадан тыс адсорбцияға оңай әкелуі мүмкін.

Жоғары деңгейдегі ESCS беті көбінесе жоғары өнімді интеграцияға қол жеткізу үшін жабындар арқылы функционалды аймақтарды реттейтін композиттік көп қабатты құрылымды дизайнды ұсынады.

Жоғары деңгейдегі escs-тің жалпы өңдеу технологиялары:

1.Флуорополимер Жабыспайтын жабындар (мысалы, PTFE және PFA)

Мұндай жабын, әсіресе температуралық процесстік орталар үшін, әсіресе төмен температуралы процестер үшін, оның төменгі беттік энергиясы, фоторезистер қалдықтарының адсорбциясын тиімді болдырмайды.

2. Алмаз тәрізді көміртек (DLC) жабындары

Жоғары қаттылық, плазмалық қарсылық және төмен үйкеліс коэффициенті, олар эрозияға қарсы және бөлшектерге қарсы отрядқа арналған қосымшалар үшін жарамды.

3. PVD өткізгіш керамикалық пленкалар (мысалы, Crsin және Tin сияқты)

Қаптаудың бұл түрі белгілі бір салада тұрақты өткізгіш жолды сала алады, осылайша жергілікті зарядтау проблемасын беттік зарядтардың біркелкі төгілуі арқылы тиімді болдырмайды.

4. Тікелей термиялық өткізгіш жабындар (мысалы, гауһар ұнтағы және фторополымер гиброполы)

Мұндай жабын жабыспайтын қасиеттерді термиялық өткізгіштікпен үйлестіреді және оның жалпы өнімділігі жоғары дәлдікті термиялық бақылаудың ESC талаптарына сәйкес келуі мүмкін.