Карбид вафли қайық

Ваффердегі барлық жоғары температурада процесстің артында үнсіз, бірақ шешуші ойыншы бар: вафли қайық. Вафлиді өңдеу кезінде кремний вафлиіне тікелей байланыстыратын негізгі тасымалдаушы ретінде, оның материалы, тұрақтылығы және тазалығы соңғы чип пен технологиялық тұрақтылыққа тікелей байланысты. Түрлі тасымалдаушы материалдар арасында,Кремний карбид (SIC)Қайықтар біртіндеп дәстүрлі кварц ерітінділерін алмастырады, озық процестер мен жоғары жабдықтардың артықшылықты шешіміне айналады.

Неліктен SIC вафли қайықтары?

7NM төмен, және жоғары температуралы процесстің терезелерінің кеңеюімен, дәстүрлі кварц Вафлидегі катерлер, бөлшектердің бақылауы, бөлшектерді басқару және қызмет ету тұрғысынан күрделі.

Кремсон Карбид вафли қайықтары, алайда, біртіндеп келесі артықшылықтарға байланысты танымал бола бастайды:

1. Жоғары температурада:

Олар 1350-1600 ° C-қа дейін ұзақ мерзімді жұмыс температурасын ұсынады, CVD, диффузия және тазарту сияқты негізгі процестерді оңай өңдейді. 1800 ° C температураға қысқаша әсер ету жұмсартылған немесе деформацияланбайды, оларды біртектес кристалды кристалды кристалды карбид пеші сияқты жоғары жабдыққа ыңғайлы етеді.

2. Жоғары жылу соққыларының тұрақтылығы:

Жылу кеңеюінің төмен коэффициентімен олар температураның жылдам өсуіне және азаятын, жылу кернеуінен туындаған құрылымдық крекингті азайтуы мүмкін. Олар жоғары температуралы, күрделі атмосферада (мысалы, сутегі, азот, аммиак және фтор) тамаша морфология мен өнімділікке ие болады.

3. Тойын беті және өте төмен ластану:

Минималды металл қоспалары бар жоғары материалдың тазалығы. Кремний вафлидерінің қайталама ластануын болдырмайтын бетінің төмен қаттылығы; 0,1 мкм-ден төмен, бөлшектердің төгілуін болдырмайды және жетілдірілген процестердің қажеттіліктеріне сәйкес келетін бетті өте жақсы бақылау.

4. Бір бөлшектерді қалыптастыру, Нақты-өңделмеген вафли Қайық құрылымдары тікелей қалыптасуға болады3D басып шығару, баптау тиімділігін едәуір жақсартатын қалыптардың қажеттілігін жою; бес осьті өңдеу және сым кесу технологиясымен бірге, қайықтың тістері вафлиге сызаттардың алдын алатын және тегіс автоматтандырылған өңдеуді болдырмайтын беттерден босатылады;

5. Жоғары беріктігі және ұзақ өмір: 

Бір қайық жүк көтергіштің беріктігін мақтан тұтады және бір уақытта ондаған жүздеген 12 дюймдік вафлиді қолдайды. Кварцтың дәстүрлі қайықтарымен салыстырғанда, қайықтың орташа өмір сүру ұзақтығы 5-10 есе, жабдықты ауыстыру жиілігі мен меншіктің жалпы құнын азайтады.

Қолдану сценарийі

Кең бейімделуіКарбид вафирінің қайықтарыОлардың қосымшаларын жартылай өткізгіш өрісінен тыс, сонымен қатар, жаңа энергетикалық материалдар, жарықдиодты өндіріс және ядролық энергияны зерттеудің түрлі деңгейдегі сценарийлеріне дейін созылады.

Жартылай өткізгіш өнеркәсіп

Ол тотығу, диффузия, CVD-ді және иондық имплантация сияқты негізгі процестерге жарамды, оны ішкі 7NM технологиялық желілеріне арналған жоғары температуралы тасымалдаушыға айналдырады.

Фотоэлектрлік өнеркәсіп

Топкон және Хжт, Вафлидегі батареялардың пайда болған технологияларында вафли қайықтары, мысалы, LPCVD және SEALING, мысалы, энергия тиімділігі мен конверсиялық ставкаларды жақсартуға көмектеседі.

Үшінші буын жартылай өткізгіштері

GAN және SIC эпитаксиалды өсу процестері үшін жарық диодтарындағы процестер үшін олар сапфир немесе кремний карбидінің субстраттарын қолдайды. Олар жоғары жиілікті электр құрылғыларын өндіруді қолдайтын NH₃ және HCL сияқты коррозиялық газдармен шектеледі.

Жаңа энергетикалық материалдар және зерттеулер Жоғары температуралы платформа

Литий аккумуляторының катодты және жылу өңдеу реакциясын және ядрол өнеркәсібінің жылу өңдеуін, жылу кедергісін, коррозияға төзімділікті және тазалықты үйлестіреді.

Subicorex жоғары тазалық ұсынадыЖеке SIC вафли қайықтары. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com