Жартылай өткізгіш өндірісіндегі негізгі керамикалық компоненттер

Жартылай өткізгіш жабдық палаталар мен палаталардан тұрады, ал көптеген керамика вафлиге жақын камераларда қолданылады. Керамикалық бөліктер, маңызды компоненттер, негізгі жабдықтардың қуысында кеңінен қолданылатын компоненттер, алюминий керамика, алюминий нитридтік керамика және кремний карбидтік керамикасы сияқты дәл өңдеу арқылы жасалған жартылайдукон өткізгіш жабдықтар компоненттері. Жетілдірілген керамика материалдарының күші, дәлдігі, электрлік қасиеттері, электрлік қасиеттері, коррозияға төзімділікке ие және вакуум және жоғары температура сияқты арнайы ортада жартылай өткізгіш өндірісінің кешенді қойылымдарына сәйкес келеді. Жартылай өткізгіш жабдықтардың жетілдірілген керамикалық материалдық компоненттері негізінен Палаталарда қолданылады, олардың кейбіреулері вафлимен тікелей байланыста. Олар біріктірілген тізбектің негізгі дәл компоненттері болып табылады және оны бес категорияға бөлуге болады: Ынтастырылған цилиндрлер, ауа ағындары және жүк көтергіш және бекітілген түрлері, гриппер тығыздағыштар және модульдер. Бұл мақала негізінен бірінші санат туралы айтады: Ыңғайлы цилиндрлер.

Сақиналар мен цилиндрлер

1. Моирея сақиналары: негізінен жұқа пленкалар жабдықтарында қолданылады. Технологиялық камера аясында орналасқан, олар вафлимен, газдың жетілдірілуіне, оқшаулауға және коррозияға төзімділігімен тікелей байланысады.

2. Күзет сақиналары: негізінен жұқа пленкамен жабдықталған жабдықтар мен цецерде қолданылады. Процесс камерасында орналасқан, олар электростатикалық чак және керамикалық жылытқыш сияқты негізгі модуль компоненттерін қорғайды.

3. Шекті сақиналар: негізінен жұқа пленкалы жабдықтар мен цецерде қолданылады. Процесс камерасында орналасқан, олар тұрақтандырады және плазманың алдын алады.

4. Сақиналарды фокустау: негізінен жұқа пленкалар жабдықтарында, церт және иондық имплантация жабдықтарында қолданылады. Процесс камерасында орналасқан, олар вафлиден 20 мм-ден кем, плазманы камераға бағыттайды.

5. Қорғаныс қақпақтары: негізінен жұқа пленкалар жабдықтарында және церчерде қолданылады. Процесс камерасында орналасқан, олар технологиялық қалдықтарды тығыздап, сіңіреді.

6. Жерлендіру сақиналары: негізінен жұқа пленкалар жабдықтарында және цертпен қолданылады. Палатаның сыртында орналасқан, олар компоненттерді қауіпсіз және қолдайды.

7. LINER: Негізінен, ең алдымен, технологиялық палата ішінде орналасқан, ол газ басшылығында, ол газ басшылығын арттырады және бірыңғай форманы қалыптастыруды қамтамасыз етеді.

8. Оқшаулау цилиндрі: ең алдымен жұқа пленкамен тұндыру жабдықтарында, суперстермен және ион импланерлерінде қолданылады, ол технологиялық палатада орналасқан және жабдықтың температурасын бақылауды жақсартады.

9. Термопара қорғау түтігі: негізінен, ең алдымен, әр түрлі жартылай өткізгіштің алдыңғы жабдықтерінде қолданылады, ол камерадан тыс жерде орналасқан және термопараларды салыстырмалы түрде тұрақты температурада және химиялық ортада қорғайды.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыКерамикалық бұйымдаржартылай өткізгіште. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com