Өткізгіш қапталған графит жылытқыштар

ТаӨткізгіш қапталған графит жылытқышыБұл жоғары температуралы жартылай өткізгіштерді өңдеуге және басқа да вакуумдық жылу жүйелеріне арналған жаңа өнім. Онда жоғары тазалық графиттің жақсы термиялық тұрақтылығы және кремний карбидінің (SIC) тамаша сипаттамаларын қолданады. Өткізгіш қапталған графит жылытқышы одан әрі қарай сараланған, оның азот-допедті SIC қабаты сараланады, бұл беттік өткізгіштікті, оны өте жақсы жақсартады, бұл оны өте жақсы жақсартады, бұл оны өте жақсы және тіпті электрлік өнімділігімен жылытуды қажет етеді.

Жылытқыш негізгі құрылымдық және жылу өткізгіш ретінде әрекет ететін жоғары берік графит субстратымен салынған. Графит таңдалды, атап айтқанда, жылу өткізгіштік деңгейінің жоғары деңгейі, жылу кеңейту коэффициенті және жылу шоктарына икемділік береді. Бұл сипаттамалар графитті жылдам қыздырғыш және салқындату циклдары болуы мүмкін жоғары температуралы процесстің қосымшаларында қолайлы негіз болып табылады. Алайда, таза графиттің өзі белгілі бір атмосферада химиялық реактивті, сонымен қатар жер бетінің зақымдануы немесе деграгий немесе деградация, бөлшектердің шығарындылары немесе ұзартылған кезде, әсіресе жартылай өткізгіштік тазалық бөлмелерінде.

Осы шектеулерді жеңу үшін графит бөлігі қалың, жоғары тазалағышқа арналған қабатпен қапталған. SIC жабыны бірнеше функцияларға қызмет етеді: ол тотығу және химиялық коррозиядан қорғау деңгейін қамтамасыз етеді, ол өте қатты, тозуға төзімді бетті қамтамасыз етеді және ол вакуумдық және таза залмен үйлесімділікті қамтамасыз етеді. ӘЖК-де қатты қаттылық, жоғары термиялық өткізгіштік және химиялық инерстер үшін беделге ие; Осы себепті, бұл жоғары сапалы жылу компоненттері үшін тамаша жабын материал.

Бұл өнімнің бірегей жаңашылдығы - SIC жабынының азотты допингі. Химиялық булар (CVD) процесінде, азотты атомдар өз бетінің кедергісін, сонымен қатар, оның бет-әлпетін жақтай алады, бұл оның бетін күрт төмендетеді, сонымен қатар, графит компонентінің резистивті қыздыру элементі ретінде әрекет етуге мүмкіндік бермейді.

КлассикалықSic жабындарыоқшауланған, бұл оларды белсенді электрлік қосымшалар көлемінде шектейді. Керісінше, жылытқыштағы азотты доппен қабықшасы, классикалық SIC-тің механикалық және химиялық артықшылықтарын әлі де сақтай отырып, қатты беткі төзімділікке ие. Өткізгіштік қабат өте жақсы, өте жақсы үйлесімді қамтамасыз етеді және жылытқыш бетіне жылу бөлуді жақсарту кезінде қуат жоғалып кетеді. Бұл әсіресе эпитаксиальды реакторлармен, диффузиялық пештермен және тез термиялық өңдеумен (RTP) жабдықтарымен байланысты жағдайларда дәл жылыту қосымшалары үшін өте ыңғайлы.

Әдетте геометрия, әдетте, суреттегідей спираль немесе серпентин біркелкі жылу энергиясын өндіру және электрлік жүктемені жасау ниетімен жасалған және оңтайландырылған. Графит пен өткізгіштің біріктірілген дизайнымен және өткізгіштің дизайны бар, электр контактілері кез-келген қосымша электродтардың немесе металл қосылымының қажеттілігін жоятын электр конструкцияларын тікелей бекітуге болады. Бұл ластану қаупін азайтады және нәтижелерді қарапайым жинақтайды. Демек, жалпы тиімділік жақсарады.

Өткізгіштің негізгі артықшылықтарыSic-қапталған графит жылытқышыҚосу:

Азот допингіне байланысты электр өткізгіштік, тамырлы ағымға және тиімді резистивті жылытуға мүмкіндік береді.

Бүкіл беткі аймақта температураны бақылаумен жоғары жылудың біркелкілігі.

Жоғары химиялық төзімділік, әсіресе сутегі, аммиак немесе галогендік атмосфера сияқты коррозиялық ортада.

Жартылай өткізгіш өндірістің қатаң тазалық қажеттіліктерін қанағаттандыратын минималды бөлшектердің буыны.

Механикалық тұрақтылық пен графиттік ядродағы және SIC жабынының механикалық тұрақтылығына байланысты ұзартылған қызмет мерзімі.

Осы жылытқышқа қосымшалар бірқатар озық технологиялар салаларында қолданылады. Жылытқыш химиялық будың тұндыру процестерінде (CVD), молекулалық сәуле эпитакси (MBE), молекулалық сәуле эпитаксиі (MBE) және вафли-вафли, егер температура, материалдардың тазалығы өте маңызды болса. SIC жабылған графит жылытқышын фотоэлектрлік өндіруде, сондай-ақ жоғары өнімділік, беріктік және берік жылытқыштар қажет болған басқа жылу процестерінде де қолдануға болады.

Қорытындылай келе, өткізгіштігі бар графитті графит жылытқышы жылу компоненттерін дамытуда әсерлі алға жылжу болып табылады. Азот-доппен қапталған SIC жабыны арқылы біз электродтық жабынның химиялық тұрақтылығын электр өткізгіштікпен сәтті үйлестіретін тиімді жылу өнімі жасадық. Осылайша, тиімдірек, тазартқыш және ең қажет өндірістік қосымшалар үшін сенімді жылу процесін шығарады. Жартылай өткізгіштер мен материалдар өнеркәсібі болашақ өзгеріске ұшырайды және осы түрдегі гибридті материалдар болашақ өндіріске жақын озық технологияларды жасауда маңызды болады.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыҚаптайтын графит жылытқыштарӨнімдер. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com