SOI дегеніміз не

Кремний изоляторы (SOI) нанотехнологиялар дәуірінде бар монокристалды кремний материалдарын ауыстыру шешімдерінің бірі ретінде танылды және Мур заңының трендін сақтаудың негізгі құралы болып табылады. Кремний изоляторы, дәстүрлі көлемді субстрат кремнийін «инженерлік» субстратпен алмастыратын субстрат технологиясы 30 жылдан астам әскери және ғарыштық электроника жүйелері сияқты мамандандырылған қолданбаларда қолданылған, мұнда SOI тамаша арқасында бірегей артықшылықтарға ие. радиацияға төзімділік және жоғары жылдамдық сипаттамалары.

SOI материалдары SOI технологиясының дамуының негізі болып табылады, ал SOI технологиясының дамуы SOI материалдарының үздіксіз ілгерілеуіне байланысты. Құны төмен, жоғары сапалы SOI материалдарының болмауы SOI технологиясының ауқымды өнеркәсіптік өндіріске енуіне басты шектеу болды. Соңғы жылдары SOI материалдарын дайындау технологиясының жетілуімен SOI технологиясының дамуын шектейтін материалдық мәселе біртіндеп шешілуде, ол ақыр соңында SOI материалын дайындау технологиясының екі түрін қамтиды, атап айтқанда, Speration-by-оттегі имплантациясы (SIMOX) және байланыстыру технологиясы. Байланыстыру технологиясы дәстүрлі Bond and Etch back (BESOI) технологиясын және Франциядағы SOITEC негізін қалаушылардың бірі М. Брюэл ұсынған сутегі ионын бүрку мен байланыстыруды біріктіретін Smart-cut технологиясын, сондай-ақ Simbond SOI материалды дайындауды біріктіреді. 2005 жылы доктор Мэн Чен ұсынған оттегі оқшаулау және байланыстыру. Жаңа технология оттегі инъекциясын оқшаулау мен байланыстыруды біріктіреді.